国産手動高温真空プローブ台結晶円検出ガス感受性試験

タイプ

高温型室温から400℃

こうていおんがた 室温～400℃ 室温～-196℃

キャビティマテリアル

304ステンンレス鋼 6061アルミニウム合金 オプション

キャビティ内寸法

127mmX57mmX20mm

キャビティの体外寸法

150mmX80mmX32mm

キャビティ重量

ステンンレス材質 約1.5キログラム アルミニウム合金材質 約0.5キログラム

キャビティ上のウィンドウサイズ

Φ42mm（オプションで窓とサンプルの間の距離を減らすために凹型窓を配置）

キャビティくうきぬきぐち

KF16フランジ（残りのインタフェース仕様はアダプタ可能）

キャビティ真空測定口

KF16フランジ（残りのインタフェース仕様はアダプタ可能）

キャビティ吸気口

6mmクイックツイスト または 6mmクイックプラグ

キャビティ冷却方式

キャビティ水冷+トップカバー空冷

キャビティ水冷インタフェース

キャビティ正圧

≤0.05のMPa

キャビティ真空度

機械ポンプ≦5パ（5分） 分子ポンプ≦5E-3パ（30分）

サンプルテーブル

サンプルテーブル材質

ステンンレス鋼 ぎんどうごうきん 純銀ブロック

ぎんどうごうきん 純銀ブロック

サンプルテーブルサイズ

26x26mm

サンプルテーブル加熱方式

ていこうかねつ

ていこうかねつ えきたいちっそれいとう

サンプルテーブル-ウィンドウ 距離

11mm（オプションの凹型窓を使用して、窓とサンプルの間の距離を減らすことができます。6mm）

サンプルテーブル温度測定センサ

PT100型熱抵抗

サンプルテーブル温度

室温～400℃

室温～400℃ 室温～-196℃

サンプルテーブル温度測定誤差

±0.5℃

サンプルテーブル昇温速度

高温100℃/分 低温7℃/分

温度制御器

おんどひょうじ

7寸法ヒューマンインタフェース

温度制御タイプ

標準PIDおんどせいぎょ+じこせいてい

温度分解能

0.1℃

温度制御精度

±0.5℃

温度信号入力タイプ

PT100（オプションK S B型熱電対）

温度制御出力

ちょくりゅうせんけいでんげんかねつ

ちょくりゅうせんけいでんげんかねつ+液体窒素流速制御装置

アクセシビリティ

温度データの収集とエクスポート じつじかんおんどきょくせん+履歴温度曲線 拡張可能な真空読み取りインタフェース

温度制御器の寸法

32cmX170cmX380cm

温度制御器の重量

約5.6キログラム

プローブ

電気信号コネクタ

配線継ぎ手BNC の接続 BNC のさんどうじくつぎて SMA接続 バナナプラグ 線の長さ1.2米

でんきせいのう

ぜつえんていこう ≥4000メートルΩ ゆうでんたいあつ ≤200V でんりゅうざつおん ≤10pA

プローブ数

4プローブ（拡張性5プローブ）

プローブマテリアル

めっきタングステン針 （その他のマテリアルはオプション）

プローブチップ

10μm

手動プローブ移動プラットフォーム

X軸移動ストローク

20mm±10mm（テーブルを手動で押す必要がある）

X軸制御精度

≥500μm

R軸移動ストローク

120°±60°（プローブレバーを手動で回転させる必要がある）

R軸制御精度

≥500μm

Z軸移動ストローク

2mm±1mm

Z軸制御精度

≤50μm（手動ネジ調整プローブロッドが必要）