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lqu@bjhksr.com
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北京市海淀区知春路118号知春ビルA-1403 B
北京海科思鋭光電計器有限公司
lqu@bjhksr.com
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北京市海淀区知春路118号知春ビルA-1403 B
直接駆動電動変位テーブル概要:
8 MTLシリーズ電動並進テーブルは三相鉄ブラシレスサーボモータ技術を採用し、高精度、再現性と低摩擦力によりゼロギャップ運動を実現することができる。線形非接触光学エンコーダは、サブナノスケールの運動分解能で位置を直接制御することを保証することができる。アルミナ合金は高温安定性、8 MTL機器の柔軟性と優れた長周期運動学、無ガイドシステムドリフトを保証した。このプラットフォームは敷地面積が小さく、高密度機械と狭い空間応用に集積でき、超クリーンルームと真空(最大10-3 Torr)応用に使用できる。
8MTL1301-170
| モデル | 8MTL1301-170-LEn1-025 | 8MTL1301-170-LEn1-050 | 8MTL1301-170-LEn1-100 | 8MTL1301-170-LEn1-200 |
| スケジュール | 170 ミリメートル | |||
| エンコーダタイプ | 光学エンコーダー | |||
| エンコーダ解像度 | 25nm | 50nm | 100nm | 200nm |
| エンコーダラスタサイクル | 20 µm | |||
| 絶対dui精度: | ||||
| キャリブレーション前 | ±5 µm | |||
| キャリブレーション後 | ±1μm | |||
| 双方向繰返し精度(ピーク) | ±0.15 µm | |||
| 双方向繰り返し精度(RMS) | ±0.10 µm | |||
| 最大da速度(荷重4 kg) | 2000mm/s以下 | |||
| かじゅう | 30キロ | |||
| 重量 | 4.1キロ | |||

8MTL1401-300型
| モデル | 8MTL1401-300-LEn1-025 | 8MTL1401-300-LEn1-050 | 8MTL1401-300-LEn1-100 | 8MTL1401-300-LEn1-200 |
| スケジュール | 300ミリメートル | |||
| エンコーダタイプ | 光学エンコーダー | |||
| エンコーダ解像度 | 25nm | 50nm | 100nm | 200nm |
| エンコーダラスタサイクル | 20 µm | |||
| 絶対dui精度: | ||||
| キャリブレーション前 | ±5 µm | |||
| キャリブレーション後 | ±1μm | |||
| 双方向繰返し精度(ピーク) | ±0.15 µm | |||
| 双方向繰り返し精度(RMS) | ±0.08 µm | |||
| 最大da速度(荷重4 kg) | 2000mm/s以下 | |||
| かじゅう | 30キロ | |||
| 重量 | 6.75キロ | |||

直接駆動電動変位テーブル8MTL120XY型
| モデル | 8MTL120XY-LEn1-025型 | 8MTL120XY-LEn1-050型 | 8MTL120XY-LEn1-100 | 8MTL120XY-LEn1-200型 | |
| スケジュール | 120×120mm | ||||
| エンコーダタイプ | 光学エンコーダー | ||||
| エンコーダ解像度 | 25nm | 50nm | 100nm | 200nm | |
| エンコーダラスタサイクル | 20 µm | ||||
| 絶dui精度 | キャリブレーション前 | ±4 µm | |||
| キャリブレーション後 | ±0.5 µm | ||||
| 双方向繰返し精度(ピーク) | ±0.15 µm | ||||
| 双方向繰り返し精度(RMS) | ±0.10 µm | ||||
| 最大da速度(荷重4 kg) | <1000 mm/s | ||||
| かじゅう | 30キロ | ||||
| サイズ | 240 x 360 x 75 mm | ||||

8MRL120-15
| モデル | 8MRL120-15-メン | |
| 角度範囲 | 360度 | |
| エンコーダタイプ | 光学エンコーダー | |
| エンコーダ解像度 | 0.0000625度 | |
| エンコーダラスタサイクル | 0.05度 | |
| 絶dui精度 | キャリブレーション前 | ±218 µrad/ ±45.00 アークセクド |
| キャリブレーション後 | リクエスト | |
| 双方向繰返し精度(ピーク) | ±7.30 µrad/ ±1.50 アークセクド | |
| 双方向繰り返し精度(RMS) | ±2.90 µrad/±0.60 アークセク | |
| へんしんりつ | ±5.00μm | |
| ジッター | ±19.40 µrad/ ±4.0 アークセクド | |
| 最大da速度(無負荷) | <9000度/秒/1500回転分 | |
| ふか | レベル | 40キロ |
| 垂直 | 20キロ | |
| ターンテーブル直径 | 90mm | |
| 中心孔径 | 15mm | |
| 重量 | 2.6キロ | |

8MRL180、8MRL250
| モデル | 8MRL180 | 8MRL250 |
| 角度範囲 | 360度 | 360度 |
| エンコーダタイプ | 1Vppアナログインダクタンス | |
| エンコーダ解像度 | 2 アークセク | 1 アークセク |
| 双方向繰り返し精度 | 5 アークセク | 4 アークセク |
| jue照合精度(キャリブレーション前) | 50 アークセク | 40 アークセク |
| じくほうこうしんどう | 30μm | 30μm |
| ラジアルジャンプ | 30μm | 20 µm |
| さいだそくど | 6600 度/秒 | 3300 度/秒 |
| すいへいふか | 12キロ | 20キロ |
| すいちょくふか | 12キロ | 15キロ |
| ターンテーブル直径 | 180 ミリメートル | 250ミリメートル |
| 重量 | 5キロ | 9キロ |