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北京海科思鋭光電計器有限公司
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化学17>製品

直接駆動電動変位テーブル

交渉可能更新01/30
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プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
直接駆動電動変位台、8 MTLシリーズ電動並進台は三相鉄ブラシレスサーボモータ技術を採用し、高精度、再現性と低摩擦力によりゼロギャップ運動を実現することができる。線形非接触光学エンコーダは、サブナノスケールの運動分解能で位置を直接制御することを保証することができる。アルミナ合金は高温安定性、8 MTL機器の柔軟性と優れた長周期運動学、無ガイドシステムドリフトを保証した。このプラットフォームは敷地面積が小さく、高密度機械と狭い空間応用に集積でき、超クリーンルームと真空(最大10-3 Torr)応用に使用できる。
製品詳細

直接駆動電動変位テーブル概要:

8 MTLシリーズ電動並進テーブルは三相鉄ブラシレスサーボモータ技術を採用し、高精度、再現性と低摩擦力によりゼロギャップ運動を実現することができる。線形非接触光学エンコーダは、サブナノスケールの運動分解能で位置を直接制御することを保証することができる。アルミナ合金は高温安定性、8 MTL機器の柔軟性と優れた長周期運動学、無ガイドシステムドリフトを保証した。このプラットフォームは敷地面積が小さく、高密度機械と狭い空間応用に集積でき、超クリーンルームと真空(最大10-3 Torr)応用に使用できる。

8MTL1301-170

モデル

8MTL1301-170-LEn1-025

8MTL1301-170-LEn1-050

8MTL1301-170-LEn1-100

8MTL1301-170-LEn1-200

スケジュール

170 ミリメートル

エンコーダタイプ

光学エンコーダー

エンコーダ解像度

25nm

50nm

100nm

200nm

エンコーダラスタサイクル

20 µm

絶対dui精度:

キャリブレーション前

±5 µm

キャリブレーション後

±1μm

双方向繰返し精度(ピーク)

±0.15 µm

双方向繰り返し精度(RMS)

±0.10 µm

最大da速度(荷重4 kg)

2000mm/s以下

かじゅう

30キロ

重量

4.1キロ

5.1.jpg

8MTL1401-300型

モデル

8MTL1401-300-LEn1-025

8MTL1401-300-LEn1-050

8MTL1401-300-LEn1-100

8MTL1401-300-LEn1-200

スケジュール

300ミリメートル

エンコーダタイプ

光学エンコーダー

エンコーダ解像度

25nm

50nm

100nm

200nm

エンコーダラスタサイクル

20 µm

絶対dui精度:

キャリブレーション前

±5 µm

キャリブレーション後

±1μm

双方向繰返し精度(ピーク)

±0.15 µm

双方向繰り返し精度(RMS)

±0.08 µm

最大da速度(荷重4 kg)

2000mm/s以下

かじゅう

30キロ

重量

6.75キロ

5.2.jpg

直接駆動電動変位テーブル8MTL120XY型

モデル

8MTL120XY-LEn1-025型

8MTL120XY-LEn1-050型

8MTL120XY-LEn1-100

8MTL120XY-LEn1-200型

スケジュール

120×120mm

エンコーダタイプ

光学エンコーダー

エンコーダ解像度

25nm

50nm

100nm

200nm

エンコーダラスタサイクル

20 µm

絶dui精度

キャリブレーション前

±4 µm

キャリブレーション後

±0.5 µm

双方向繰返し精度(ピーク)

±0.15 µm

双方向繰り返し精度(RMS)

±0.10 µm

最大da速度(荷重4 kg)

<1000 mm/s

かじゅう

30キロ

サイズ

240 x 360 x 75 mm

5.3.jpg

8MRL120-15

モデル

8MRL120-15-メン

角度範囲

360度

エンコーダタイプ

光学エンコーダー

エンコーダ解像度

0.0000625度

エンコーダラスタサイクル

0.05度

絶dui精度

キャリブレーション前

±218 µrad/ ±45.00 アークセクド

キャリブレーション後

リクエスト

双方向繰返し精度(ピーク)

±7.30 µrad/ ±1.50 アークセクド

双方向繰り返し精度(RMS)

±2.90 µrad/±0.60 アークセク

へんしんりつ

±5.00μm

ジッター

±19.40 µrad/ ±4.0 アークセクド

最大da速度(無負荷)

<9000度/秒/1500回転分

ふか

レベル

40キロ

垂直

20キロ

ターンテーブル直径

90mm

中心孔径

15mm

重量

2.6キロ

5.4.jpg

8MRL180、8MRL250

モデル

8MRL180

8MRL250

角度範囲

360度

360度

エンコーダタイプ

1Vppアナログインダクタンス

エンコーダ解像度

2 アークセク

1 アークセク

双方向繰り返し精度

5 アークセク

4 アークセク

jue照合精度(キャリブレーション前)

50 アークセク

40 アークセク

じくほうこうしんどう

30μm

30μm

ラジアルジャンプ

30μm

20 µm

さいだそくど

6600 度/秒

3300 度/秒

すいへいふか

12キロ

20キロ

すいちょくふか

12キロ

15キロ

ターンテーブル直径

180 ミリメートル

250ミリメートル

重量

5キロ

9キロ