デスクトップ/デスクトップ式マイクロ領域X線蛍光イメージング分光計

M 4 TORNADOPUS-マイクロゾーンX線蛍光イメージングの新紀元

M 4 TORNADOマイクロ領域X線蛍光イメージング分光器PLUSは、C（6）−Am（95）間の元素を検出できるマイクロ領域X線蛍光イメージング分光器である。

マイクロゾーンX線蛍光イメージング分光計M 4 TORNADOシリーズの新製品として、M4 TORNADO^加また、開口管理システム、高スループットパルスプロセッサ、迅速かつ柔軟に交換できるサンプルステーションなどの機能が追加されました。

より軽く、より速く、より深く

レベル4竜巻^加軽元素窓を用いた大面積シリコンドリフト検出器（SDD）は軽元素炭素の検出、高スループットパルスサンプリング、BRUKER開口管理システム（AMS）は大被写界深度を取得でき、表面不平坦サンプルの分析に有利である。

軽量要素検出

レベル4竜巻^加軽量元素炭素を検出分析できるマイクロ領域X線蛍光イメージング分光計は、軽量元素窓を有する2つの大面積シリコンドリフト検出器と最適化されたRhターゲットX線光管を備えている。

通常のマイクロ領域X線蛍光イメージング分光計とは異なる、M4 TORNADO^加より高いエネルギー範囲の元素感度に影響を与えない前提で、フッ素（F）、酸素（O）、窒素（N）、炭素（C）などの原子数が11未満の元素（Z＜11）を検出することもできる。

機能性の向上に伴い、M4 TORNADO^加応用も地質学、鉱物学、生物学、ポリマー研究、半導体業界などの方向性を開発し、拡大している。

応用例-蛍石と方解石の区別

蛍石（CaF₂）と方解石（CaCO₃)はいずれもカルシウムを主成分とする鉱物である。それらの違いは、軽質元素フッ素（F）、酸素（O）、炭素（C）がそれぞれ存在することである。通常のマイクロゾーンX線蛍光イメージング分光計ではZ＜11（Na）の元素が検出されず、この2つの鉱物を区別することができないため、蛍石と方解石のスペクトル図にはCa元素スペクトル線のみが表示されます。

軽元素検出器を用いて、M4 TORNADO^加フッ素（F）、酸素（O）、炭素（C）を検出し、この2種類の鉱物を同定することができる。

図：蛍石と方解石の鑑別

左：方解石（赤）と蛍石（青）の元素分布図、画像サイズ：20×12 mm²;スキャン解像度：800×460 pixels

右：蛍石（青）と方解石（赤）の軽質元素スペクトル図。

応用例-回路基板

AMSのフィールド深度が深いため、図に示す回路基板のX線画像により詳細が得られる。さらに、励起X線光子の入口と出口角度が減少するため、ビームエネルギー依存性はそれほど顕著ではない。

図：AMSを備える回路基板と備えない回路基板の元素分布図

左図：標準的な多導毛細管は回路基板に焦点を合わせ、素子の高点は焦点を失い、ぼやけて見える。

右図：AMSシステムロード下の画像は高被写界深度を示し、コンポーネントはより大きな被写界深度範囲に焦点を当てている。