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上海市浦東新区浦東南路2250号A席301室
上海西努光学科学技術有限公司
wulihua@cinv.cn
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上海市浦東新区浦東南路2250号A席301室
迅速、正確、インテリジェント


自動化システムとは?
顕微自動化システムは顕微イメージングシステム、プラットフォーム運動制御システム、PCワークステーション及び専門レベルのソフトウェアシステムから構成される。低人工介入の下で収集、測定、分析のワンタッチ完成を実現することができる。人工介入による人為的誤差を減少させ、効果的にモニタリング効率を向上させ、Q-DTSデータ相互接続プラットフォームと協力して、データをリアルタイムで顧客のMESシステムに転送することができ、さらにデータ処理効率を向上させる。

Mapナビゲーション図
ワンタッチ操作で2 D、3 D画像の自動スプラインを迅速に行い、サンプル特性に基づいて行列数、必要スプライン長を選択するか、スプライン起点と終点位置の3種類のスプラインモードを設定し、低倍率でサンプルをスキャンし、Mapナビゲーション図を生成し、高倍率で観察位置を迅速に位置決めし、3 D形態分析を行うことができる。分析中に視界を失わないようにします。倍率が大きくなっても、マクロMapナビゲーションマップに現在の視界の場所が表示されます。

DMZ 2000シリーズマイクロオートメーションシステム:3 D画像収集
従来の顕微鏡視野と被写界深度の問題を克服して、製品の三次元形態を得て、それに対して3 Dデータ分析を行うことができる。




DMZ 2000シリーズマイクロオートメーションシステム技術仕様
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光学系 |
倍率範囲 |
150 X-600 X、1500 X(オプション) |
観察モード |
明視野、暗視野、混合光は偏光、微分干渉、近赤外、蛍光を選択的に配置することができる |
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レンズレベル |
平場半複色収差明暗場対物レンズ |
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レンズ倍率 |
5 X、10 X、20 X、50 X(オプション) |
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倍率切り替え |
電動調節オプションWDIオートフォーカスモジュール |
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でんきせいぎょシステム |
Z軸ストローク |
90mm |
Z軸分解能 |
0.1ミリウム |
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プラットフォームストローク |
電動100 mm*100 mm大型プラットフォームをカスタマイズ可能 |
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プラットフォーム荷重 |
3キロ |
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プラットフォーム仕様 |
260mm*260mm |
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プラットフォーム解像度 |
0.1ミリウム |
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カメラシステム |
有効ピクセル |
2/3 in,500万画素、2464*2056 |
ダイナミックレンジ |
12ビット |
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視野範囲 |
3.52 mm ~ 0.88 mm(最終視野範囲は対物レンズの配置による) |
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ソフトウェアシステム |
パノラマ2 D/3 D収集機能 |
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ナビゲーション図収集、位置決め機能 | ||
断線測定機能 |
長さ、幅、高さ、角度などの関連データを測定する |
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平面測定機能 |
点距離、線距離、円弧、角度、面積などの関連データ |
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マクロ機能 |
マルチポイント自動収集機能 |
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ペギング解析 |
原文書の遡及分析 |
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オプションのQ-DTSデータ相互接続モジュール | ||
カスタマイズ可能なソフトウェア機能 | ||
画像出力形式 |
JPG、BMP、PNG、Dimacなど |
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コンピュータシステム |
プロレベル制御機 |
IPC-5120、32 Gメモリ、256 G SSD、1 TB HDD |
DELLディスプレイ |
27 in 3840 x 2160(4 K)輝度350 cd/m²リフレッシュレート60 Hz |
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光学系
DMZ 2000 Dは明場、暗場、MIX(混合光)、偏光などの多種の照明方式を有し、蛍光、赤外、スペクトル共焦点などの多くの光源を選択して配合し、異なる応用シーンに適合させることができる。
高性能、高開口数(NA)対物レンズを搭載し、顕微イメージングに提供光学系


プロレベルの解析ソフトウェア
PCB業界の線幅、線距離、盲穴の上下穴径、深さ、穴径比などに対して非常に完備した自動計測ツールがある。

太陽光発電業界の外幅、内幅、高さ、高さ比、体積、表面積、角度、断面積に対して非常に完備した自動データ報告がある。

プロレベルの解析ソフトウェア
DMZ 2000 Dに搭載されたDMZ-Pro専門分析ソフトウェアは、サンプルのバッチ量子化収集、計測、分析を実現することができる。

技術仕様
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マイクロシステム |
光学系 |
無限遠矯正光学系、スペクトル共焦点システムを選択配置可能 |
対物レンズ倍率 |
標準5 X、10 X、20 Xは2.5 X、50 X、100 Xを選択可能 |
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そうごうぞうふく倍率 |
標準150 X ~ 600 X(最終増幅倍率は対物レンズのオプションによる) |
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しょうめいモード |
標準配光場、暗場、混合光は偏光、DIC |
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光源 |
標準的にLED光源を配置し、設計寿命は60000時間赤外線、蛍光を選択可能 |
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うんどうシステム |
Z軸ストローク |
標準装備50 mm、電動 |
プラットフォームストローク |
標準装備700*600 mm、電動 |
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プラットフォーム荷重 |
30キログラム |
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X/Y繰り返し精度 |
±1.7μm |
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X/Y/Zラスタスケール解像度 |
0.1μm |
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カメラシステム |
有効ピクセル |
2/3 in,500万画素、2464*2056 |
ダイナミックレンジ |
12ビット |
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視野範囲 |
3.52 mm ~ 0.88 mm(最終視野範囲は対物レンズの配置による) |
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ソフトウェアシステム |
パノラマ2 D/3 D収集機能 |
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ナビゲーション図収集、位置決め機能 | ||
2 D測定 |
点距離、線距離、円弧、角度、面積などの測定ツール |
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3 D測定 |
長さ、幅、高さ、角度、体積などの測定ツール |
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DMZ-Proには線幅、線距離、盲孔上下孔径、孔径比などのPCB専門測量ツールが配置されている | ||
オプションのQ-DTSデータ相互接続モジュール | ||
カスタマイズ可能なソフトウェア機能 | ||
画像出力形式 |
JPG、BMP、PNG、DIMACなど |
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