D 07-9マスフローコントローラ/流量計

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

D 07-9質量流量制御器/流量計は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-9製品は華丞電子の研究開発精度が高く、応答時間が速いシミュレーション製品である。

製品詳細

質量流量計（Mass Flow MeterはMFMと略記）は気体の質量流量を精密に測定するために用いられ、マスフローコントローラ（Mass Flow ControllerはMFCと略記）は、ガスのマスフローを精密に測定し、制御するために使用されます。それらは半導体と集積回路工業、特殊材料学科、化学工業、石油工業、医薬、環境保護と真空などの多種の分野の科学研究と生産に重要な応用を持っている。その典型的な応用例としては、拡散、酸化、エピタキシャル、CVD、プラズマエッチング、スパッタ、イオン注入、及びめっき装置、光ファイバ溶融、マイクロ反応装置、混合ガス配気システム、毛細管測定、ガスクロマトグラフ及びその他の分析機器。

D 07-9マスフローコントローラ/流量計精度が高く、再現性がよく、応答速度が速く、ソフト起動、安定信頼性、動作圧力範囲が広いなどの特徴があり（高圧または真空条件下で動作可能）、国際標準コネクタを採用し、その操作は便利で、任意の位置に設置でき、コンピュータとの接続に便利で自動制御を実現する。

D 07シリーズの質量流量制御器と質量流量計は一般的にD 08シリーズの流量表示器などの製品と組み合わせて使用され、制御制御器と表示の間は専用ケーブルで接続されている。

特徴

•中流量型
•ゴムシール、アナログ回路のMFC
•分流器が詰まりにくい
•DB 15型電気プラグを採用し、国際標準機械コネクタ

D 07-9マスフローコントローラ/流量計技術仕様

タイプ	D 07-9 Eタイプ	D 07-9 EMタイプ	D 07-9 Fタイプ	D07-9FM型
流量仕様	（0~20,30,50,100,150,200,250） SLM	（0~20,30,50,100,150,200,250） SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
せいど	±2%F。S。	±2%F。S。	±2%F。S。	±2%F。S。
線形	±1% F。S。	±1% F。S。	±1% F。S。	±1% F。S。
くりかえしせいど	±0.2% F。S。	±0.2% F。S。	±0.2% F。S。	±0.2% F。S。
レスポンス時間	（1〜4）秒	（1〜4）秒	≤ 4秒	≤4秒
作動差圧範囲	20、30 SLM：（0.05〜0.30）MPa（7.3〜43.5 psid） 50,150 SLM：（0.10〜0.30）MPa（14.5〜43.5 psid） 200,250 SLM：（0.15〜0.30）MPa（21.8〜43.5 psid）	-	20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa （14.5~43.5 psid） 200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	-
きあつこうか	-	20~100SLM: <0.02 MPa（2.9 psid）; >100SLM: <0.05 MPa（7.3 psid）	-	20~100SLM: <0.02 MPa（2.9 psid）; >100SLM: <0.05 MPa（7.3 psid）
さいだいさぎょうあつりょく	1つのMPa	1つのMPa	1つのMPa	1つのMPa
たいあつ	3 MPa（435.1 psig）	3 MPa（435.1 psig）	3 MPa（435.1 psig）	3 MPa（435.1 psig）
動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC	4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC
電源	+15 V 50 mA -15V 400mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400mA	24 VDC 100 mA
重量	2.6キロ	1.5キロ	2.6キロ	1.5キロ

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