D 07-9質量流量制御器&流量計

ネゴシエーション可能更新04/22

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概要

D 07-9は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-9製品は七星流量計の研究開発精度が高く、応答時間が速いシミュレーション製品である。

製品詳細

利点

•中流量型
•ゴムシール、アナログ回路のMFC
•分流器が詰まりにくい
•DB 15型電気プラグを採用し、国際標準機械コネクタ

技術パラメータ

プロジェクト	D 07-9 Eタイプ	D 07-9 EMタイプ	D 07-9 Fタイプ	D 07-9 FMタイプ
流量仕様	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
せいど	±2 % F.S.	±2 % F.S.	±2% F.S.	±2 % F.S.
線形	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1% F.S.	±1 % F.S.
くりかえしせいど	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2% F.S.	±0.2 % F.S.
レスポンス時間	(1 ~ 4) sec	(1 ~ 4) sec	≤ 4sec	≤4 sec
作動差圧範囲	20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） 50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa （14.5~43.5 psid） 200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa （21.8~43.5 psid）	-	20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid) 200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	-
きあつこうか	-	20~100SLM: <0.02 MPa （2.9 psid）; >100SLM: <0.05 MPa （7.3 psid）	-	20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); >100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
さいだいどうさあつりょく	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
たいあつ	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)
動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC	4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC
電源装置	+15 V 50 mA -15V 400 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
じゅうりょう	2.6 kg	1.5 kg	2.6 kg	1.5 kg

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