D 07-19質量流量制御器&流量計

ネゴシエーション可能更新06/06

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概要

D 07-19は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-19製品は七星流量計の研究開発精度が高く、応答時間が速いシミュレーション製品である。

製品詳細

特徴

•高精度、高速応答型
•ゴムシール、アナログ回路のMFC
•DB 15型電気プラグを採用し、国際標準機械コネクタ
•国際互換性

技術パラメータ

プロジェクト	D07-19B	D07-19BM	D07-19F	D 07-19 FMタイプ
流量仕様	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量仕様	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	0~1,2,3,5,10,20,30 SLM
せいど	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
線形	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
くりかえしせいど	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.
レスポンス時間	≤2 sec	≤2sec	≤4 sec	≤4 sec
作動差圧範囲	≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)	-	≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)	-
きあつこうか	-	<0.02 MPa (2.9 psid)	-	<0.02 MPa (2.9 psid)
さいだいどうさあつりょく	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
たいあつ	3 MPa (435.1 psig)	10 MPa (1450.4 psig)	3 MPa (435.1 psig)	10 MPa (1450.4 psig)
動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC	4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC
電源装置	+15 V 50 mA -15V 200 mA	+15 V 50 mA －15 V 50 mA	24 VDC 100 mA	24 VDC 100 mA
じゅうりょう	0.95 kg	0.7 kg	1.2 kg	1 Kg

プロジェクト	D07-19B	D07-19BM	D 07-19 FMタイプ
流量仕様	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM	0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量仕様	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	0~1,2,3,5,10,20,30 SLM
せいど	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)
線形	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)	±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
くりかえしせいど	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.
レスポンス時間	≤2 sec	≤2sec	≤4 sec
作動差圧範囲	≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) ＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)	-	-
きあつこうか	-	<0.02 MPa (2.9 psid)	<0.02 MPa (2.9 psid)
さいだいどうさあつりょく	1 MPa	1 MPa	1 MPa
たいあつ	3 MPa (435.1 psig)	10 MPa (1450.4 psig)	10 MPa (1450.4 psig)
動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC
電源装置	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA －15 V 50 mA	24 VDC 100 mA
じゅうりょう	0.95 kg	0.7 kg	1 MPa

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