D 07-7質量流量制御器/流量計

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

D 07-7質量流量制御器/流量計は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-7製品は七星流量計の基礎製品であり、顧客の流量測定制御の基本的な需要を満たすことができる。

製品詳細

マスフローコントローラ（Mass Flow ControllerはMFCと略記）は、ガスのマスフローを精密に測定し、制御するために使用されます。それらは半導体と集積回路工業、特殊材料学科、化学工業、石油工業、医薬、環境保護と真空などの多種の分野の科学研究と生産に重要な応用を持っている。その典型的な応用例としては、拡散、酸化、エピタキシャル、CVD、プラズマエッチング、スパッタ、イオン注入、及びめっき装置、光ファイバ溶融、マイクロ反応装置、混合ガス配気システム、毛細管測定、ガスクロマトグラフ及びその他の分析機器。

D 07-7質量流量制御器/流量計精度が高く、再現性がよく、応答速度が速い、ソフト起動、安定信頼性、動作圧力範囲が広いなどの特徴があり（高圧または真空条件下で動作可能）、その操作は便利で、任意の位置に設置でき、コンピュータとの接続に便利で自動制御を実現する。D 07シリーズの質量流量制御器は一般的にD 08シリーズの流量表示器などの製品と組み合わせて使用され、制御器と表示器の間は専用ケーブルで接続されている。

特徴：

•ゴムシール、アナログ回路のMFC

•チューブ状シャント、長寿命

D 07-7質量流量制御器/流量計技術パラメータ：

番号	タイプ	D07-7K型型	D 07-7 Bタイプ	D 07-7 Cタイプ	D 07-7 CMタイプ
1	流量仕様	（20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0~1,2,3,5,10） SLM	（0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0~1,2,3,5,10） SLM	（0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0~1,2,3,5,10） SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM の（0~1,2,3,5,10） SLM
2	せいど	±1%のF.S	±1.5% F.S	±1.5% F.S	±1.5% F.S
3	線形	±1%のF.S	±1%のF.S	±1%のF.S	±1%のF.S
4	くりかえしせいど	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	レスポンス時間	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	10秒
6	きあつこうか	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa
7	作動差圧範囲	（0.1〜0.5）MPa	（0.1〜0.5）MPa	（0.1〜0.5）MPa	<0.01 MPa
8	温度係数	ゼロ：≤±0.1% F.S./℃; スパン: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	さいだいさぎょうあつりょく	1つのMPa	1つのMPa	1つのMPa	1つのMPa
10	たいあつ	3のMPa	3のMPa	3のMPa	3のMPa
11	動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）
13	電源	+15 V 50 mA; -15V 200mA	+15 V 50 mA; -15V 200mA	+15 V 50 mA; -15V 200mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	重量	1.1キロ	1.1キロ	1.1キロ	0.92キロ

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