D 07-7質量流量制御器&流量計

ネゴシエーション可能更新06/06

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概要

D 07-7は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-7製品は七星流量計の基礎製品であり、顧客の流量測定制御の基本的な需要を満たすことができる。

製品詳細

特徴

•ゴムシール、アナログ回路のMFC

•チューブ状シャント、長寿命

技術パラメータ

番号付け	プロジェクト	D 07-7 Kタイプ	D 07-7 Bタイプ	D 07-7 Cタイプ	D 07-7 CMタイプ
1	流量仕様	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
2	せいど	±1 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S
3	線形	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S
4	くりかえしせいど	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	レスポンス時間	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	電気特性：10 sec、ガス特性：≤4 sec	10 sec
6	きあつこうか	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa
7	作動差圧範囲	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	<0.01 MPa
8	おんどけいすう	Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	さいだいさぎょうあつりょく	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	たいあつ	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）
13	電源装置	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	外形寸法	図4参照	図4参照	図4参照	図5参照
15	じゅうりょう	1.1 kg	1.1 kg	1.1 kg	0.92 kg

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