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D 07-19質量流量制御器/流量計

交渉可能更新02/09
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
D 07-19質量流量制御器/流量計は毛細管伝熱温度差量熱法の原理に基づいて、シミュレーションレンジを設置し、温度と圧力の変動によって正確さを失わず、温度、圧力補償を行う必要がなく、各種ガスの正確な測定と制御を実現することができる。D 07-19シリーズ製品は安定性が高く、メンテナンスが容易であるなどの特徴がある。
製品詳細

D 07-19質量流量制御器/流量計毛細管伝熱温度差量熱法の原理に基づいて、シミュレーションレンジを設置し、温度と圧力の変動によって正確さを失わず、温度、圧力補償を行う必要がなく、各種ガスの正確な測定と制御を実現することができる。D 07-19質量流量制御器/流量計シリーズ製品は安定性が高く、メンテナンスが容易であるなどの特徴がある。


優位

高精度、高安定性、高速応答:精度が±1%F.S.未満、線形度が±0.5%F.S.未満、繰り返し精度が±0.2%F.S.未満、応答速度が2 sを超えない

ゼロ漂係数が低い:ソフトハードウェアを用いて温度補償機能を実現し、ゼロ:≦±0.05%F.S./℃、調整時:≤±0.1%F.S./℃

機能完備:自動クリア、アラーム、ソフト起動、遅延などの機能を持つクライアント使用ソフトウェア

国際認証:CE、ROHS認証を取得


革新的なポイント

デジタルコア回路基板:デジタルコアコンピューティング、より良い制御調整を実現し、リアルタイムでデータを相互作用する

定電力センサ:新型の定電力式センサ技術を採用し、システム測定の正確性と応答速度を大幅に向上させる

デジタルセンサ補償技術:デジタルセンサブリッジ平衡方法を用いてセンサ駆動電圧を補償し、温度ドリフトを抑制する

VCPの弁制御技術:弁制御技術はいくつかの新しい成果を採用し、VCP技術と総称し、この構造弁内部のガスデッドスペースが少なく、弁応答速度が速く、磁気ヒステリシス現象がない。VCP技術を採用することで、ガス質量流量制御器の制御流安定性を効果的に高めることができる。


応用分野

特殊工業―石油化学工業

特殊産業-光ファイバ

特殊工業―真空コーティング

特殊工業―熱処理

ライフサイエンス-環境保護

生命科学―食品工業

生命科学—バイオテクノロジー

生命科学―医療健康

生命科学―分析機器

科学研究―実験器材


技術指標

モデル D07-19B D07-19J型 D07-19JM型
流量仕様 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
流量制御範囲 F.S.の2〜100%
せいど ±1% F.S.(20,30SLM:±2% F.S.)

±1% F.S.

線形 ±0.5% F.S.(20,30SLM:±2% F.S.)

±0.5% F.S。

くりかえしせいど ±0.2% F.S。
レスポンス時間 ≤2秒
作動差圧範囲 ≤10SLM: 0.1〜0.5 MPa
> 10SLM: 0.1〜0.3 MPa
0.1〜0.4 MPa(≤10SLM)
0.1〜0.3 Mpa(10SLM<F.S.≤30SLM)
0.25〜0.45 MPa(>30SLM)
<0.02 MPa(2.9 psid)
さいだいさぎょうあつりょく 1 MPa(145psig)
たいあつ 3 MPa(435.1 psig)

3 MPa(435.1 psig)

ろうえいりつ 1×10-9Pa·m3/sec 彼
温度係数 ゼロ: ≤±0.05% F.S./℃;スパン: ≤±0.1% F.S./℃;
動作環境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
にゅうりょくしんごう

0 V ~ +5.00 V

(入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下)

4-20 mAまたは0 ~ 5 Vまたは1 ~ 5 V
しゅつりょくしんごう

0 V ~ +5.00 V

(入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下)

4-20 mAまたは0 ~ 5 Vまたは1 ~ 5 V
電源 +15 V 50 mA; -15V 200mA 24VDC 400mA; +15V 50mA - 15V 200mA
重量 0.95キロ 1.2キロ 1.0キロ