D 07-11質量流量制御器/流量計

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

D 07-11質量流量制御器/流量計は毛細管伝熱温度差量熱法の原理に基づいて、シミュレーションレンジを設置し、温度と圧力の変動によって正確さを失わず、温度、圧力補償を行う必要がなく、各種ガスの正確な測定と制御を実現することができる。D 07-11シリーズは華丞電子が開発した高圧製品で、最高耐圧10 MPa。

製品詳細

D 07-11質量流量制御器/流量計毛細管伝熱温度差量熱法の原理に基づいて、シミュレーションレンジを設置し、温度と圧力の変動によって正確さを失わず、温度、圧力補償を行う必要がなく、各種ガスの正確な測定と制御を実現することができる。D 07-11質量流量制御器/流量計シリーズ製品は華丞電子が開発した高圧製品で、最高耐圧は10 MPaである。

優位

高耐圧性：最大作動圧力10 Mpa

制御が安定し、精度が高く、繰り返しが良い：精度が±1%F.Sより小さく、線形度が±0.5%F.Sより小さく、繰り返し精度が±0.2%F.Sより小さい。

メンテナンスが容易：設計が簡潔で使いやすく、メンテナンスが便利で、使用とメンテナンスコストを下げることができる。

革新的なポイント

VCPの弁制御技術：弁制御技術はいくつかの新しい成果を採用し、VCP技術と総称し、この構造弁内部のガスデッドスペースが少なく、弁応答速度が速く、磁気ヒステリシス現象がない。VCP技術を採用することで、ガス質量流量制御器の制御流安定性を効果的に高めることができる。

定電力センサ：新型の定電力式センサ技術を採用し、システム測定の正確性と応答速度を大幅に向上させた。

応用分野

特殊工業―石油化学工業

特殊産業-光ファイバ

特殊工業―真空コーティング

特殊工業―熱処理

ライフサイエンス-環境保護

生命科学―食品工業

生命科学—バイオテクノロジー生命

科学―医療健康

生命科学―分析機器

科学研究―実験器材

技術指標

モデル	D07-11C型
流量仕様	（0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM
流量仕様	（0~1,2,3,5,10,20,30） SLM
流量制御範囲	F.S.の2〜100％
せいど	±1% F.S.（20,30SLM:±2% F.S.）
線形	±0.5% F.S.（20,30SLM:±2% F.S.）
くりかえしせいど	±0.2 %F.S。
レスポンス時間	≤ 10秒
作動差圧範囲	≤10SLM（0.2〜0.8）MPa（29〜116psid）
作動差圧範囲	> 10SLM（0.2〜0.6）MPa（29〜87psid）
さいだいさぎょうあつりょく	10 MPa（1450psig）
たいあつ	10 MPa（1450psig）
動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃
にゅうりょくしんごう	0 V ~ +5.00 V
にゅうりょくしんごう	（入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）
しゅつりょくしんごう	0 V ~ +5.00 V
しゅつりょくしんごう	（入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）
電源	+15 V 50 Ma; -15V 200mA
じゅうりょう	1.2キロ

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