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D 07-11質量流量制御器&流量計

ネゴシエーション可能更新06/06

モデル

メーカーの性質: 生産者

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概要

D 07-11は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計（MFM）はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-11製品は七星流量計が開発した高圧製品で、最高耐圧10 MPaである。

製品詳細

特徴

•高耐圧性

•ゴムシール、アナログ回路のMFC

•DB 15型電気プラグを採用し、国際標準機械コネクタ

•CE認証、国際互換性

技術パラメータ

番号付け	プロジェクト	D07-11C	D07-11CM
1	流量仕様	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
2	せいど	±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)	±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
3	線形	±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)	±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)
4	くりかえしせいど	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	レスポンス時間	電気特性：10 secガス特性：≦4 sec
6	さいだいさぎょうあつりょく	10 MPa	-
7	きあつこうか	-	＜ 0.02 MPa
8	作動差圧範囲	≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa ＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa	-
9	たいあつ	10 MPa	10 MPa
10	動作環境温度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
11	入出力信号	0 V ~ +5.00 V （入力インピーダンスは100 K以上、出力電流は3 mA以下）
12	電源装置	+15 V 50 mA -15V 200 mA
13	外形寸法	詳細は図4参照
14	じゅうりょう	1.2kg	1kg

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