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青島芯笙微納電子科技有限公司
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コンパクトマスフローコントローラ

ネゴシエーション可能更新12/16
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概要

コンパクト質量流量制御器(Mass Flow Controller)は業界内の流量センサチップに基づいて、高速サンプリング処理技術とデジタル補償アルゴリズムを結合して、開発されたよりコンパクトなガス質量流量制御器製品である。

製品詳細

MFC-Eシリーズコンパクト質量流量コントローラ(MassFlowController)はガス分析器、質量分析器、ガス分配器などの業界のために開発された高精度、低温漂亮、高信頼性のガス品質流量制御器製品である。この製品は高精度流量センサ、電磁比例弁、316 Lステンレスガス路座などを備えており、精度が高く、応答速度が速く、安定性が良いなどの利点がある。操作が便利で、広く使用できます。出力及び制御信号は、0−5 Vアナログ信号及びRS 485デジタル通信方式を含む。

  コンパクトマスフローコントローラ製品の応用:半導体加工、分析と環境保護、燃焼制御器、真空技術、表面処理、食品と製薬、化学工業(石化)などの過程制御、ガス混合配合比

  コンパクトマスフローコントローラ製品特徴:
温度と圧力が敏感ではありません
任意の位置に取り付け可能な設計
超高速な応答速度
良好な再現性と再現性
アナログ収集、制御、またはデジタル収集、制御が可能