CS 300マスフローコントローラ&流量計

ネゴシエーション可能更新04/22

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概要

CS 300ガス質量流量制御器は七星流量計が専門的に大規模集積回路装備のために設計された製品であり、この製品は既存のCS 200ガス質量流量において、DFに基づく圧力信号補償アルゴリズムを採用し、全量制御器の基礎となる新しい金属表面処理技術、製品の各技術指標は厳格にSEM基準に従い、VI型、C型GSガス路システムをサポートする。

製品詳細

利点

•精度は設定点精度を採用し、製品精度は±1.0%S.P.、応答時間は最速≦0.5 secに達することができる。
•CS 300シリーズ製品は圧力補償機能を持って、前段のガス圧力の摂動に対して有効な補償を行って、圧力変化が瞬時流量に与える影響を減らして、それによって製品の仕事の安定性と正確性を保証する。
•採用した定電力センサの原理は、温度変化時に相応の補償を行い、根本的に流量計のゼロフロー現象を抑制し、センサの線形性を保証した。
•ハイエンド製品は専用の金属表面処理技術を採用し、ガスと接触する表面金属材料はすべて316 LVVを使用し、CS 300 C製品の金属表面粗さはさらに5 RA以下に達し、SEMI基準に厳格に従って生産製造する。

技術パラメータ

CS300
モデル	CS310C		CS320C		CS310D		CS320D
バルブタイプ	常開または常閉	なし	常開または常閉	なし	常開または常閉	なし	常開または常閉	なし
流量仕様（N 2）	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
せいど
線形	±0.5% F.S.
くりかえしせいど	±0.2% F.S.
レスポンス時間	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
作動差圧範囲	0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM 0.15～0.35 MPa流量規格＞10 SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM 0.15～0.35 MPa流量規格＞10 SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM 0.15～0.35 MPa流量規格＞10 SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM 0.15～0.35 MPa流量規格＞10 SLM	＜0.02 MPa
おんどけいすう	ゼロ：≦±0.02% F.S./℃；調整時：≤±0.05% F.S./℃
たいあつ	3.5 MPa
ろうえいりつ	1×10^-11Pa·m³/ sec He
シール材	メタルシール
さいだいどうさあつりょく	0.45MPa
動作環境温度	（0～50）℃
にゅうりょくしんごう	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC	なし	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC	なし	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC	なし	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC	なし
しゅつりょくしんごう	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC
ゼロフロー	ゼロ補正がない場合＜0.6%F.S.／年
電源装置	±8～±16 VDC（双極）または+14～+28 VDC（単極）
ひょうめんかがくせいぶん	Cr/Fe比≧2.0、CrO厚さ≧20（Å）				-
ひょうめんあらさ	Ra 5μinch
標準ジョイント形式	VCR 1/4雄継手、 1.125″C型シール継手 1.125″W型シール継手		1.5″B型シール継手 1.5″C型シール継手 1.5″W型シール継手		VCR 1/4雄継手、 1.125″C型シール継手 1.125″W型シール継手		1.5″B型シール継手 1.5″C型シール継手 1.5″W型シール継手
電源コネクタ形式	D型9ピン雄継手、D型15ピン雄継手、DeviceNetコネクタ
じゅうりょう	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg

モデル	CS310C		CS320C
バルブタイプ	常開または常閉	なし	常開または常閉	なし
流量仕様（N 2）	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
せいど	±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.)
線形	±0.5% F.S.
くりかえしせいど	±0.2% F.S.
レスポンス時間	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
作動差圧範囲	0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM 0.15～0.35 MPa流量規格＞10 SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35 MPa流量規格≦10 SLM 0.15～0.35 MPa流量規格＞10 SLM	＜0.02 MPa
おんどけいすう	ゼロ：≦±0.02% F.S./℃；調整時：≤±0.05% F.S./℃
たいあつ	3.5 MPa
ろうえいりつ	1×10-11 Pa·m3 / sec He
シール材	メタルシール
さいだいどうさあつりょく	0.45MPa
動作環境温度	（0～50）℃
にゅうりょくしんごう	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC	なし	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC	なし
しゅつりょくしんごう	数字：RS 485またはDeviceNet シミュレーション：(0～5)VDC
ゼロフロー	ゼロ補正がない場合＜0.6%F.S.／年
電源装置	±8～±16 VDC（双極）または+14～+28 VDC（単極）
ひょうめんかがくせいぶん	Cr/Fe比≧2.0、CrO厚さ≧20（Å）
ひょうめんあらさ	Ra 5μinch
標準ジョイント形式	VCR 1/4雄継手、 1.125″C型シール継手 1.125″W型シール継手		1.5″B型シール継手 1.5″C型シール継手 1.5″W型シール継手
電源コネクタ形式	D型9ピン雄継手、D型15ピン雄継手、DeviceNetコネクタ
じゅうりょう	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg

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