CRX-VF液体ヘリウムフリー超伝導磁石プローブ台

ネゴシエーション可能更新05/07

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概要

Lake ShoreのCRX-VFは液体ヘリウム閉ループ冷却なしのプローブ台で、#177;2.5 Tの超伝導磁石、C-V、I-V、マイクロ波と電気光学探査、及び平面外垂直場超伝導磁気測定を行うことができる。

製品詳細

Lake ShoreのCRX-VFは液ヘリウム閉回流冷却なしのプローブ台で、±2.5 Tの超伝導磁石を増加させ、C-V、I-V、マイクロ波と電気光学探査、および平面外垂直場超伝導磁気測定を行うことができる。研究者はCRX−VFを用いてHall効果測定と磁気輸送パラメータの試験を行うことができる。CRX-VFは直径51 mm（2インチ）のウエハ上で真の90°ウェハプローブ。サンプルは冷却中に高い温度を維持でき、サンプルの凝縮の可能性を下げ、これは有機材料を測定する重要な要求である。

CRX−VFは10 K〜500 Kの温度範囲で動作することができ、独立した閉ループ冷凍機を使用し、電源を入れた後、誰も協力せずに低温まで冷却することができる。このシステムは、液体ヘリウムのない操作の利便性とLake Shore製品の信頼性の高い測定性能を両立することを求めるユーザーに完全なソリューションを提供している。

主な特徴：

√温度範囲10 K ~ 500 K

√垂直磁場±2.5 T、3 T以上の磁場をカスタマイズ可能

√最大2インチ（51 mm）サンプル

√90°プローブサンプル測定

√ホール効果試験オプション

√超高真空オプション

√試料が大気環境に曝されないように、真空チャンバ併用転写試料をカスタマイズ可能

デバイスパラメータ：

磁場
マグネットタイプ	超伝導ソレノイド
磁場方向	垂直方向（サンプル面に垂直）
じかいせいぎょ	でんりゅうせいぎょ
磁場の大きさ	最大±25 KOe（±2.5 T）
磁場均一性	0.5%10 mm直径、直径1%25 mm
プローブ針先移動	<5μm全磁場範囲内
温度範囲
±2.5トン	温度10 K
±2トン	温度範囲11 K ~ 400 K
±1トン	温度範囲401 K ~ 500 K
以上の温度範囲は最大6個のプローブアームを取り付ける場合に有効である
おんどあんていせい
基礎温度（加熱制御なし）	未説明
<10 K	±50 mK
10k~500k	±10 mK
真空	TPS-FRG分子ポンプを標準とする	PS-HV-CPX高真空オプション
真空引き時間	90分（<1×10-3<戻る	30分（<1×10-3 <戻る
室温で	<5 × 10-4<戻る	<5 × 10-6<戻る
基礎温度で	<1 × 10-5<戻る	<5 × 10-7<戻る
最高温度で	<5 × 10-5<戻る	<5 × 10-7<戻る
サイクルタイム
トータルサイクル	8.5時間
しんくうぬき	1.5時間
プローブテーブル冷却	5時間
プローブ台昇温	2時間
サンプル
最大サイズ	51 mm（2インチ）
サンプルバックライトインタフェース	オプションなし
サンプル回転	オプションなし
サンプルしんどう	＜1μm
プローブ構成
最大プローブ数	6
プローブアーム温度計	プローブアームの温度監視用
冷却プローブホルダ	＜50 K（サンプルは基礎温度で）
プローブホルダ	放射線防止スクリーンを接続したヒートシンク
プローブアームホルダ	放射線防止スクリーンを接続したヒートシンク
DC/RFプローブ	低リーク電流測定用電気絶縁>100 GΩ
マイクロ波プローブ	周波数範囲はDCから67 GHz
光ファイバプローブ	電気光学測定に使用可能
針落ち範囲	すべてのプローブは、直径25.4 mm（1インチ）の円内に針を落とすことができます

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