CF 4ガス分析計

CF 4ガス分析計GASERA ONEの概要

GASERA ONEマルチガス分析器はレーザー光音響分光技術に基づいて、検出器と光源を持ち、科学研究、工業とその他の分野に広く応用されている、このうち検出器は超高感度の強化されたカンチレバー光学マイク技術である。

CF 4ガスは半導体製造、環境モニタリング及び工業安全などの分野に広く応用されている。光音響分光技術はガスが光エネルギーを吸収した後に発生する音響信号を検出することにより、高感度、高安定性のCF 4濃度測定を実現する。

CF 4ガス分析計GASERA ONE-ソリューション

優れた光源タイプを選択することにより、GASERA ONEは多種の応用ニーズに適している、

より複雑な測定方法については、いくつかのGASERA ONEを併用して、アプリケーションに簡単なソリューションを提供することができます。

CF 4ガス分析計GASERA ONE−動作

GASERA ONEは、簡単で直感的な高解像度ディスプレイと制御ボタンをユーザーに提供します。また、ユーザーはスマートフォン、タブレット、その他のデバイスを介してGASERA ONEを制御することができます。

CF 4ガス分析計GASERA ONE技術

動作原理：レーザー光音響スペクトル

超感度MEMSカンチレバーセンサ光学マイクロフォン、結合レーザ干渉計カンチレバー微量変位測定

用途のニーズに応じて感度やガス成分の種類などの光源を配置する

適切な光源としては、可変同調半導体レーザ（TDL）、量子段、結合レーザ（QCL）、外腔式量子カスケードレーザ（EC−QCL）、バンド間カスケードレーザ、(ICL)，光学パラメトリック発振器（OPO）、フィルター付き広帯域赤外光源（NDIR）

気室定常温度50℃

CF 4ガス分析計GASERA ONE-汎用

19”3 Uインダストリアルシャーシ（すべてのデスクトップまたはラックマウントに対応）

尺寸：48.4cmのW x 13.9cmのH x 44cmのD（19.1のW x 5.5のH x 17.3のD）

重量：約13 kg

内蔵7インチフロントディスプレイ内蔵組み込みコンピュータ

少なくとも1年間の継続的な監視に十分なデータ記憶容量

総採気量：10～30 ml

背面パネルには4ウェイのガスインターフェースがあり、2ウェイはサンプリングインターフェースであり、粉塵粒子状物質フィルタを備えている

電力供給：

入力電圧：100～240 VAC、50～60 Hz

入力電力：100～200 W（具体的な要求に応じて）

通信インタフェース：Ethernet、USB

GASERA ONEはスマートフォン、タブレット、ノートパソコン、または別のGASERA ONEで操作できます

CF 4ガス分析計GASERA ONE-環境

作業条件：

温度範囲：0℃～+40℃

湿度：90%RH未満、結露なし

圧力範囲：大気圧

防護レベル：IP 20（IEC 529）

保管条件：

温度範囲：-20℃～+60℃

サンプリング条件：

温度：0～+49℃

湿度：結露なし

ガス流量：約1 L/min

圧力：930 mbar～1100 mbar

微粒子<1μm

CF 4ガス分析計GASERA ONE-検出パラメータ

応答時間：チャネル積分時間（C.I.T.）とガス置換周期に応じて、典型的には5秒から数分

検出限界：0.1 ppb

ダイナミックレンジ：典型的なレベル5（100,000倍検出限界）

再現性：1%未満の測定値、動作条件標準濃度で

精度：較正濃度の標準ガスの精度に依存し、典型的には2〜5%

温度安定性：温度動作範囲内で影響なし

圧力安定性：圧力動作範囲内で影響なし