8921 SC 13米国BIRD油線RF終端負荷5 kW、DCから28 MHz精度RF負荷8921 SC 13、13.56 MHz超安定油二電流RF終端により、最大のプロセス再現性と一致性を実現し、現代プラズマ応用には正確なRF電力調整と制御が必要である。正確で反復可能なRF電源をチャンバに確実に供給するための重要なコンポーネントは、RF発電機のキャリブレーション、調整、監視である。現在、Birdは超安定した低VSWR負荷を提供しており、発電機の電力出力を迅速かつ正確に測定する際には、Bird 4020シリーズなどの正確な電力センサとともに使用されています。8921 SC 13は低いVSWRを提供するだけでなく、臨界周波数におけるVSWRのVSWR総変化は0.1 dB未満である。異なる時間長を較正するため、負荷ウォーミングアップや反復性リスクは必要ない。これにより、このキャリブレーションに関連するエラーを大幅に低減し、より重要なプロセス変数の1つを制御することができます。米BIRD油線RF終端負荷原工場の購入代行。

8921 SC 13米国BIRD油線RF終端負荷技術パラメータ：

電力レベル5 kWの周波数範囲とVSWRDC〜28 MHz＠1.1が最大である。

VSWRは1.05：1インピーダンスω50未満（名目）VSWR安定性＜0.1 dB、安定周波数における定格電力は0から100%安定周波数13.56 MHz±10 kHzコネクタ「QC」タイプLC（女性）-通常はインターロック熱スイッチを提供-オプションで通常オフにします。236°C（457°F）で熱スイッチレベル115 VAC、10 Aをオンにする

230 VAC、5 A温度範囲動作：＋5〜＋40°C（＋41〜＋104°F）

ストレージ：-40～+45°C（-40～40～+113°F）高さ1520 m（5000フィート）湿度95%の無調最大。冷却方法油誘電及び対流電流について32.8"x 9.5"x 26.9"

832 x 241 x 681 mm重量126ポンド。

57 kgエンドブラックエポキシ樹脂

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