原子層堆積システム

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

SAL 1000 Gはグローブボックスを含む小型デスクトップALD原子層堆積システムであり、良好な均一性と*の階段被覆性能を持ち、ユーザーが各原子層の堆積を正確に制御することができる。グローブボックスにより、不活性ガス環境下での操作が可能となり、ナノスケール粒子の吸入を防止することができる。4インチまでのウェハの堆積を処理し、部品ごとに安全対策を講じることができます。

製品詳細

塩1000 g原子層堆積システム特徴：

-多様性-

・真空移動可能なグローブボックスは、酸化しやすいサンプルを処理することができる。

・前駆体には2組のバルブとガスボンベが標準装備されている。

・前駆体を200℃に加熱することを選択することができる。

・基板自動回転ブラケットを選択することができる。

・粉体堆積継手を選択することができる。

・コスト効率に優れた排ガス処理装置を選択することができる。

-パフォーマンス-

・不均一または3 D形状に堆積された表面を階段で覆う。

・CVD及びPVDと比較して、特により高いアスペクト比及び多孔質堆積材料に対してより良い堆積が得られる。

-操作インタフェースにやさしい-

・タッチスクリーンにより、ユーザーは簡単にレシピまたは堆積プロセスを設定し、各駆動システムの動きを確認することができる。

・自動堆積が可能であり、堆積完了後に自動的にN 2排出が完了する。

・グローブボックスの真空排気及び不活性ガスの導入も自動的に行うことができる。

-セキュリティ-

・様々なインターロック機能を備えた高度なデバイスである。

-柔軟な閉塞機能を備えたトップハッチにより、ユーザーは基板のロードとアンロードを容易にすることができます。

塩1000 g原子層堆積システム技術パラメータ：

性能
真空度		到達圧力	≤5Pa
成膜性能		膜厚分布	≤±3%（φ100mm）
デバイス構成
機種		塩1000 g
成膜方向		下面
きていすんぽう		φ100 mmまたは最大4インチ
ベースヒータ温度		最高350℃
		2
前駆体温度		最高150℃
パージガス		N 2（ガス制御：流量計針付きバルブ）
グローブボックス		有機ガラス、真空-窒素パージ式
真空ポンプ		162 L/minロータリ式真空機械ポンプ
重さ		本体：50kg手套箱：35kg真空泵：27 kg
オプションの構成		基板自動回転ブラケットふんたいたい積部品排ガス処理装置前駆体加熱器-200℃
インストール要件
電源要件	電源	3相、200 V±10%、15 A、50/60 Hz
	アース	＜100Ω
		5 m付属
N 2パージガス	きょうきゅうあつりょく	0.1~0.2Mpa
	インターーフェース	1/4世偉ロック
あっしゅくくうき	きょうきゅうあつりょく	0.6~0.8Mpa
	インターーフェース	φ6 mmコネクタ
真空ポンプ排気口	はいきぐち	KF-25フランジ
設備排気口		φ38 mm xL 28ホースアダプタ
取り付け寸法		幅1000 x奥行き700 x奥行き900

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