ALDモジュール

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概要

QSense散逸型石英結晶微小天秤（QCM−D）QSenseALDモジュール（原子層堆積）サンプルラックは、真空または気相中でQCM−D測定を行うために設計されている。

製品詳細

ALDサンプルラックの設計はチップ両側が開放されており、チップ両側の圧力変化が不均一になることを防止できるため、低/高気圧環境下で測定することができる。ALDサンプルラックはケーブルを介してサンプルテーブルに接続されている。測定信号は、2つの独立したケーブルを介して様々な低圧または高圧キャビティを介してQCM−D電子ユニットに送られる。

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