AFM-SEM同期併用技術（汎用版）

革命的な原子間力顕微鏡（AFM）は、走査電子顕微鏡（SEM）とのシームレスな集積を実現し、その場関連顕微鏡に新たな可能性を切り開くことができる。

最適化された設計により、LiteScope AFM互換サイマーフェザー、TESCAN、蔡司、日立、JEOLなどの主流ブランドのSEMシステムとその部品、その他のブランドの電子顕微鏡もカスタマイズできます。

測定モード：

•機械的性質：AFM、エネルギー散逸、位相イメージング

＆ブル; 电性能：C-AFM、KPFM、EFM、STM

•磁気エネルギー：MFM

•電気機械性：PFM

•分光法：F-z

曲線、I-V曲線

•依存性解析：CPEM

AFM-SEM同期併用技術（汎用版）

実用的な特徴

• その場サンプルキャラクタリゼーション

SEM内部のその場条件下でサンプル分析を確保すると同時に、同地、同条件下で行い、かつフェムトナノミラー内部でも原子級分解能を実現することができる

• 関心のある領域の正確な位置付け

  SEMとAFMはその場で併用し、同じ時間、同じ場所、同じ条件での分析を保証したSEM画面を用いて、プローブとサンプルの相対位置をリアルタイムで観測し、プローブにナビゲーションを提供し、正確な位置決めを行う

• 複雑なサンプル分析ニーズの実現

  電気、磁気、スペクトルなどの多種の測定モードを提供し、かつ同じ位置でSEMとEDS機能を直接併用することができる。AFMとSEMデータを同時に取得し、シームレスに関連付ける

鋼と合金の複合分析

原子間力顕微鏡を用いて二相鋼を複合分析し、表面形態（AFM）、鉄酸素結晶粒の磁区構造（MFM）、結晶粒比較（SEM）及び表面電位不純物ケルビンプローブ力顕微鏡法•相関多モード解析は複雑な性質を明らかにした•走査電子顕微鏡による正確なROI位置決め、AFM総合分析

電池のその場特性評価

固体電池（SSB）はリチウムイオン電池よりも高いエネルギー密度、より長い寿命、およびより高い優れたセキュリティ。リチウムニッケルマンガンコバルト酸化物（NMC）粒子からなる正極テープはグローブボックス内にある200サイクル経過後に開放され、その場で切断され、AFM-in-SEMを用いて測定された。

サンプル提供：Aleksandr Kondrakov，BELLA（DEU）

＆ブル;CAM断面における局所伝導度（C−AFM）の特性化

＆ブル;空気曝露なしで感度の高いCAMをその場で製造

ナノワイヤの優れた特性評価

サスペンションクモ糸ナノワイヤはその機械的性質のために研究され、AFMを超精密に位置決めすることによってぶら下がったナノワイヤの上に尖っている。力‐距離分光法はナノワイヤの弾性と塑性の決定を可能にする変形が可能になる。

サンプル提供：Linnea Gustafsson，KTH（SWE）。

•SEM：AFMチップとナノワイヤ変形の正確な位置決めのリアルタイム観察

•ヤング率や引張強度などの解析特性

オプション

ナノインデンテーションモジュール

ナノインデンテーションモジュールは、超高倍数走査電子顕微鏡を用いてサンプルを観察しながら前進することができるマイクロメカニカル実験を行い、LiteScopeを用いてサブナノスケール分解能でインデンテーションサンプルを行った分析

NenoCaseとデジタルカメラ

環境条件や異なる雰囲気下でLiteScopeを独立AFMとして使用し、デジタルカメラの正確なナビゲーションプローブ。

サンプル回転モジュール

FIB後のAFM分析に適しています。また、複数のサンプルを同時に実装することもできます。SEMチャンバを開いた場合、複数のサンプルをテストすることができます。