サイマー飛Surf-Cal微粒子サイズ標準品（乾燥）

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

具体的な納期はお問い合わせください。サイマー飛Surf-Cal微粒子サイズ標準品（乾燥）は、工場内の較正ウェハの準備を簡単にするために使用できます。提供可能な微粒子サイズは、機器メーカーが要求する較正点サイズと一致する。

製品詳細

製品紹介

サイマー飛Surf-Cal微粒子サイズ標準品（乾燥）工場内でのウェハ較正の準備を簡単にすることができます。提供可能な微粒子サイズは、機器メーカーが要求する較正点サイズと一致する。
Surf-CalシリーズNISTトラッキングのポリスチレン微粒子を特別に選択したウエハ上に置くと、定期的なキャリブレーション検査を実行でき、スキャナを他の場所のスキャナと比較することができます。

測定方法

不確定度はNIST技術注釈1297、1994版−評価とNIST測定結果の不確定度を表現するガイドライン‖3に基づいて計算される。認証証明書に示されている不確定度の値は、オーバーレイファクタ2（K＝2）を用いて拡張された不確定度である。

ピーク直径は、粒子サイズ分布±2 sの範囲を用いて計算される。計算された寸法分布をピークの標準オフセット図とします。変異係数とは、標準偏差とピーク直径のパーセントを意味します。FWHM分布は、ピーク直径に占める半ピーク値の高い分布の割合を計算したものである。

技術パラメータ

サイマー飛Surf-Cal微粒子サイズ標準品（乾燥）

成分	ポリスチレン
密度	1.05 g/立方センチメートル
くっせつしすう	1.59@589ナノメートル（25°C）
添加剤	無

認証されたピーク直径	拡張不確実性（ピーク直径の）	SD	サイズ分布 CV%	FWHM％	ボトル仕様	品番（微粒子数/mL）
認証されたピーク直径	拡張不確実性（ピーク直径の）	SD	サイズ分布 CV%	FWHM％	ボトル仕様	3 x 10⁸	10¹⁰
	0.002ミクロン	0.004ミクロン	7.5%	17.4%	50ミリリットル	PD-047	PD-047B
	0.002ミクロン	0.003ミクロン	5.4%	10.9%	50ミリリットル	PD-064	PD-064B
0.083ミクロン	0.002ミクロン	0.004ミクロン	4.2%	9.6%	50ミリリットル	PD-083	PD-083B
0.092ミクロン	0.005ミクロン	0.004ミクロン	4.6%	9.1%	50ミリリットル	PD-092	PD-092B
0.100μm	0.005ミクロン	0.004ミクロン	2.6%	5.2%	50ミリリットル	PD-100	PD-100B
0.126ミクロン		0.003ミクロン	2.4%	4.8%	50ミリリットル	PD-125	PD-125B
0.155ミクロン	0.003ミクロン	0.003ミクロン	1.6%	3.7%	50ミリリットル	PD-155	PD-155B
0.202ミクロン	0.005ミクロン	0.004ミクロン	1.8%	4.0%	50ミリリットル	PD-200	PD-200B
	0.008ミクロン	0.004ミクロン	1.8%	3.7%	50ミリリットル	PD-204	PD-204B
0.220ミクロン	0.007ミクロン	0.003ミクロン	1.6%	3.3%	50ミリリットル	PD-215	PD-215B
0.304ミクロン	0.005ミクロン	0.004ミクロン	1.4%	3.4%	50ミリリットル	PD-305	PD-305B
0.360ミクロン	0.013ミクロン	0.010ミクロン	2.0%	5.0%	50ミリリットル	PD-365	PD-365B
0.498ミクロン	0.010ミクロン	0.006ミクロン	1.1%	2.5%	50ミリリットル	PD-500	PD-500B
	0.014ミクロン	0.006ミクロン	0.8%	1.8%	50ミリリットル	PD-800	PD-800B
0.802ミクロン	0.011ミクロン	0.009ミクロン	1.1%	2.4%	50ミリリットル	PD-802	PD-802B
1.112ミクロン	0.018ミクロン	0.011ミクロン	1.0%	2.5%	50ミリリットル	PD1100	PD1100B
1.59ミクロン	0.02ミクロン		1.0%	2.6%	50ミリリットル	PD1600	--
2.01ミクロン	0.04ミクロン	0.019ミクロン	1.0%	3.3%	50ミリリットル	PD2000	--
3.04ミクロン	0.06ミクロン	0.026ミクロン	0.9%	2.7%	50ミリリットル	PD3000	--

サイマー飛の他のシリーズの製品については、電話で問い合わせることができます。

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