未来を刻み込む｜レボコーダの新世代フォトリソグラフィ「MA 200-BE」が正式リリース！

フォトリソグラフィはチップを製造するコアデバイスであり、その動作原理は「投影露光」に似ている。それは一連の複雑な光学系と精密制御によって、マスク版上の回路パターンを正確に縮小してレジストを塗布したシリコンシートに投影し、レジストを化学反応させた。その後のエッチング、イオン注入などのプロセスを経て、最終的にシリコンウエハ上に必要なトランジスタと回路構造を形成する。フォトリソグラフィーの技術レベルはチップの製造プロセスと集積度を直接決定し、一国の半導体製造業のレベルを測定する鍵となる標識である。

今日、レボコーダは盛大に発売されましたMA 200-BEリソグラフィ装置革新的な技術で精度の境界を再構築し、先進的な半導体製造のためにより効率的で安定した国産化ソリューションを提供することに力を入れている。