普泰克（上海）冷凍設備技術有限公司は、研究開発、生産と販売を一体化した装備製造企業として。半導体の前、中、後端のプロセス装置に温度制御ソリューションを提供し、製品は半導体の8大プロセス装置、および半導体に関連する汎半導体分野のプロセス装置に広く応用されている。会社はモジュール化部品プラットフォームに頼って、顧客に標準化、カスタマイズ化された製品、技術サポートとサービスを提供する。

ガス冷凍機

PTLQシリーズガス冷凍機はガスの降温と冷却に用いられ、昇温と恒温制御を選択することもできる。ガスは通常、乾燥した圧縮空気や窒素、アルゴンなどの不活性ガスである。吸気温度は常温でも高温でもよく、ガス冷凍機を経て目標低温に下がる。ウェハ試験用冷却ステージへの応用については、ガス冷凍機は従来の液冷に比べて使い勝手、安全衛生、低コスト、異臭のないなど、多くの利点がある。コントローラはオプションの配物ネットワーク機能を備えており、携帯アプリ上でデータの遠隔表示、アラーム情報、遠隔操作を行うことができる。

典型的な応用分野：

•ウエハ試験用冷却ステージは低温ガスを供給する

•チップ低温試験

•レーザ装置の局所領域の冷却

•液晶タッチパネルの低温冷凍脱着

•材料性能試験