半導体の国産化を支援する精密制御のアップグレード複数の科学技術搭載精密部品がCSEAC 2026に登場

8月31日、第14回半導体デバイス材料及びコア部品展（CSEAC 2026）が無錫太湖国際博覧センターで開幕した。今回の展覧会は「中国のコアを強くしてコア世界を抱擁する」をテーマに、展覧総面積は7万平方メートルを突破し、8大パビリオンにまたがり、1400社の国内外の半導体全産業チェーン企業が出展し、開幕初日の会場は人の流れが織り交ぜ、各パビリオンの商談交流の雰囲気が盛り上がった。

　　マルチフィールド低温科学技術（北京）有限公司（以下「マルチフィールド科学技術」と略称する）は全環境ナノメートル級及びサブナノメートル級の超精密運動制御、測位測定技術と製品の研究開発、販売及び全体的なソリューションの提供に専念する企業であり、半導体製造、精密光学、ハイエンド科学きぐなどの分野で関連技術の研究開発を展開している。

国家専精特の新重点「小巨人」企業として、多くの科学技術が今回3つのコア製品を携えて展示会に登場し、半導体製造段階の精密制御需要に焦点を当て、極端な環境に適した高精度なソリューションをもたらした。

　　ナノスケール圧電セラミック変位台

ナノスケール圧電セラミック変位台

ナノメートル級圧電セラミック変位台は線形、偏揺動、回転、多軸直列/並列、サブナノ高速走査などの全品種規格をカバーし、ナノメートル級/サブナノメートル級の高精度運動制御を実現でき、超高真空、完全無磁性、極低温などの特殊な環境作業をサポートし、大負荷、長行程、高速のカスタマイズ化需要に適合でき、半導体リソグラフィ、結合、計測、検出などの核心環節に広く応用できる。

　　容量位置センサ

容量位置センサ

マルチフィールド科学技術の容量位置センサはサブナノメートル級の空間分解能を備え、50 kSa/sの高速データ収集と高速通信をサポートし、レンジカバー範囲は0.2-3 mmで、多種のプローブ形式を選択可能に提供し、同様に超高真空、完全無磁性、極低温などの特殊な作業環境に適合し、半導体結合、測定、測定などの環節の精密測定測位需要を正確に満たすことができる。

　　マルチチャネルレーザ干渉計

マルチチャネルレーザ干渉計

このマルチチャネルレーザー干渉計は、ピコメートル級の高速距離測定を実現し、動作距離は0 ~ 10メートルをカバーし、最大目標速度は3.8 m/sに達することができる。1台の装置には3つの測定チャネルが装備されており、3つの線形運動自由度を独立して測定することができ、多種のプローブ形式を提供することができる。この設備は超高真空、完全無磁性などの特殊な使用環境をサポートし、半導体製造における精密位置決めリアルタイム位置フィードバックなどの一環に広く応用できる。

今回のCSEAC 2026の現場では、多くの科学技術がコア精密部品製品を頼りにして、産業チェーンの上下流パートナーと深いコミュニケーション・ドッキングを展開し、企業の超精密運動制御分野での技術蓄積を示しただけでなく、後続の産業協力のために橋を架け、国内の半導体産業がコア部品の段階で持続的にグレードアップを突破するのを助けた。