CSEAC 2026現場直撃：瞬景科技電子源、イオン源製品マトリックスが注目を集める

2026年8月31日から9月2日まで、第14回半導体デバイス材料及びコア部品展（CSEAC 2026）が無錫太湖で盛大に開催された。今回の展覧会の展示面積は7万平方メートルを突破し、国内外1300社を超える企業が集まり、半導体設備、材料、コア部品分野の技術成果を集中的に展示した。

群星が集まる展示会の現場で、上海瞬景科技有限公司（以下：瞬景科技）は注目される焦点の一つとなっている。粒子ビームコアソースデバイスに専念するこのハード科技企業は、複数の自主開発電子源、イオン源製品を携えてCSEACに登場し、半導体量測定装置のコア部品分野での我が国の自主的な突破を業界に示した。

瞬景科学技術は微視的粒子放出の核心技術を深く耕し、多くの国外が長期にわたって独占している「首締め」技術を突破し、同時に電子源、イオン源、微焦点X線源の全系統の自主研究開発と量産能力を備えている。製品のコア性能は国際ブランドを対象にしており、主流の輸入電子顕微鏡、検査設備のシームレスな置換を実現でき、科学研究、半導体精密検査、ナノマイクロナノナノナノナノナノナノナノナノ加工、工業非破壊検査などの分野に幅広くサービスしている。

でんしげん：フルリンク自律制御，安定性と耐久性の突出

でんしげん

会社の電子源製品は全勾配モデルをカバーし、タングステンフィラメント、六ホウ化ランタン（LaB 8326）、ショットキー電界放出の3大品種を含む、連続安定使用寿命≧8000 h、極低ビームスポットドリフト特性を備え、長時間運行イメージングに明らかな偏差がなく、ビームフローの均一性、エネルギー分散指標はすべて輸入同類製品の基準を達成した。

電子源の全リンクは自主的に制御可能で、単結晶原料の精製、針先の精密加工から完成品のパッケージ化までの全プロセスは自己研究で自己生産し、海外技術の依存から抜け出す、安定性と耐久性が際立ち、交大チームの核心技術に依拠し、汚染防止能力が強く、ビームフローが純粋で安定し、長期連続作業ドリフト量が極めて低く、工業量産と長期科学研究実験に適している、定制化能力が強く、非標準設備、特殊な実験需要に基づいてパラメータの適応と構造のカスタマイズを行うことができる、第四に、蔡司、日立、日本電子、サイマー飛などの全系主流の輸入電子ミラー設備に全面的に適合し、機械に乗ってすぐに使用し、シームレスに交換することを実現し、設備の運行維持コストを大幅に削減する。

電子源は高分解能ミクロ形態観測、材料ミクロ領域成分分析、半導体ウエハ欠陥検出、CD-SEMキー寸法測定、電子ビームリソグラフィ、ナノ材料特性評価などの場面に広く応用され、大学科学研究院所、材料企業、半導体製造メーカーの精密特性評価需要に適し、すでに国内の多くの科学研究機関、ヘッド半導体企業の量産組立検証を実現した。

：精度が高く、不純物の占有率が低く、安定性やる

イオン源（FIBマイクロナノ加工コアデバイス）

　

瞬景科技が自主開発した液体ガリウム（Ga）イオン源は集束イオンビームシステム（FIB、FIB-SEM）のコアデバイスである。その原理は低融点、低蒸気圧の高純度液体ガリウムを発射媒体として利用し、精密毛細管を通じてタングステン単結晶針先まで輸送し、高圧電界の作用の下で安定テーラーコーン構造を形成し、液体金属の高効率電離を誘導し、高焦点、高純度のガリウムイオンビームを持続的に発射する。チームが攻略した液状金属の安定浸潤、針先の精密成形、電場の均一制御コア技術に頼って、イオンビームの長時間の安定放出を実現し、ミクロイメージングと物理スパッタリングエッチングの二重機能を両立する。

イオン源は広い区間の制御可能なビーム流特性を備え、高精度イメージングと大サイズエッチングの二重需要に適合することができる、イオンビームの集束精度が高く、ビーム斑が小さく、不純物の占有率が極めて低く、発光安定性が優れ、連続動作に明らかなビーム流減衰がない、針先の使用寿命が長く、耐衝撃能力が強く、コア安定性、寿命パラメータが標的国際に対して同類製品を輸入し、長期的な精密加工需要を満たすことができる。

自主量産技術が成熟し、製品の一致性が高く、良品率が安定している、設備の互換性が高く、主流の商用FIB、FIB-SEMデュアルビームシステムに適合でき、輸入部品のシームレスな置換をサポートする、同時に非標準パラメータのカスタマイズをサポートし、特殊なマイクロナノ加工シーンに対してビームフローパラメータを最適化することができ、輸入製品の適応性が悪く、カスタマイズの難易度が高く、納期が長い業界の難題を解決することができる。

主に半導体チップのミクロ修復、ナノデバイスの精密エッチングと堆積、透過型電子顕微鏡の超薄サンプルスライス、材料のミクロ欠陥分析、マイクロナノ構造の調製、原子プローブサンプルの調製などの精密マイクロナノ加工シーンに用いられ、ナノ製造、半導体先進プロセス、最前線材料科学研究の核心的な重要なデバイスである。

瞬景科学技術は上海交通大核心科学研究の蓄積に依拠し、電子源、イオン源、X線源の三位一体の粒子線源製品行列を構築し、3種類の製品核心技術は同源、技術体系が相互に通じ、いずれも順方向自己研究と規模化量産を実現した。会社の全系部品は性能が基準に対して輸入し、互換性が強く、カスタマイズ可能、高性価格比、納品が速く、アフターサービスが完備する総合的な優位性を備え、半導体、新材料、ハイエンド装備、最前線科学研究などの戦略産業の国産化とグレードアップを全面的に実現する。

展覧会期間中、科学研究、半導体精密検査、ナノマイクロナノナノナノナノナノナノナノ加工、工業非破壊検査など多くの分野から来た多くの専門観衆が自ら瞬景科学技術ブースを訪れて交流を視察し、会社が得た突破に対して高度な肯定を与えた。国内の半導体量検出装置、電子ビームリソグラフィ装置などの細分化されたコースの台頭に伴い、高性能電子源への需要は持続的に放出されるだろう。