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第9回国際炭素材料大会、上海新国際博覧センターN 1、N 2、2つのパビリオンが大混雑した。精密製造と新エネルギー材料の展示エリアでは、目立たないように見える灰色の計器が多くの専門観衆の目を引いた。それらはガス品質流量計である。
炭素材料産業チェーンの精密製造は、ダイヤモンド薄膜の堆積からシリコン炭素負極材料の製造に至るまで、正確なガス流量制御は最終製品の性能と品質に直接影響している。
開幕すると盛況だった
第9回国際炭素材料大会及び産業展覧会は2025年12月9日に上海新国際博覧センターで開幕し、大会は「材料革新が産業変革を駆動する」をテーマに、50,000人を超える専門観衆を引き付ける予定である。
DT新材料と中国超硬材料網が共同で主催した。
展示館はN 1半導体炭素材料館、N 2エネルギーと装備炭素材料館に分けられ、炭素材料の基礎研究から産業化応用までの全チェーン展示に焦点を当てている。
現場には400社近くの展示業者の中には、アイトポロジー電子のように精密製造のために重要な測定と制御技術を提供することに集中している企業も少なくない。
二酸化炭素材料から製造される「ガス脈拍」
炭素材料産業チェーンにおいて、CVDダイヤモンド成長もシリコン炭素負極材料の製造も、ガス流量制御はコアプロセスの一環である。
化学蒸着（CVD）は高品質ダイヤモンド薄膜を製造するための重要な技術であり、メタンなどのガス源流量の正確な制御はダイヤモンド膜の結晶品質と純度に直接影響する。
同様に新エネルギー分野では、シリコン炭素負極材料の製造過程において、シラン、アセチレンなどのプロセスガスの正確な配合率と動態制御も重要である。
今回の展示会では、ガス流量知能制御システムは複数の展示業者が重点的に展示する技術方向の一つとなった。このようなシステムはガス流量を正確に制御することによって、炭素製品のプロセスプロセスの一致性と安定性を保障する。
三愛拓利の技術力
ガス流量制御の分野では、EtoliはMFC 300、MFC 330、MFC 350からMFC 600までの複数のシリーズのガス品質流量計製品を展示した。
微小流量シーン用に設計されたMFC 300シリーズを例に、MEMS流量センサを採用し、温度と圧力補償機能を搭載しています。その測定精度は±0.5%F.Sに達することができ、センサ応答時間はわずか5ミリ秒である。
愛拓利流量計の核心的な優位性はその高精度と高安定性にある。MFC 600シリーズを例にして、精度は±0.2%F.S.に達することができて、線形度は±0.1%F.S.で、繰り返し精度は更に±0.05%F.S.に達する。
このような高精度特性は動的ガス配気過程において極めて重要であり、各成分の流量の正確な制御を確保することができ、それによって最終混合ガス濃度の正確性を保証することができる。
4つのフィールドフォーカスアプリケーション
半導体材料の展示エリアでは、アイトポロジーは拡散プロセスにおけるそのガス流量計の応用例を示した。半導体と光起電力製造業において、拡散炉は正確なドーピングと薄膜成長を実現するためのコアデバイスの1つである。
エーテルリーガス質量流量計とコントローラはプロセスガスの正確な測定と制御を通じて、拡散プロセスの成否と製品の最終性能を直接決定した。
例えば、MFC 330シリーズは0〜5 SCCMの微小流量規格を提供し、ドーパント濃度と分布が厳しいプロセス要件を満たすことを保証することができる。
新エネルギー材料の製造地域では、エーテルリーはシリコン炭素負極材料の製造に対する解決策を示した。シリコン炭素負極の製造にはシラン（SiHランタン）、アセチレン（CランタンHランタン）などの高リスクプロセスガスの処理が必要であり、これはガス流量計に特別な要求を提出した。
5つの業界動向と将来展望
炭素材料産業チェーンにおけるガス流量制御の重要性がますます浮き彫りになっている。工業過程におけるガス混合物の精度要求の高まりに伴い、ガス流量計技術も進歩し続けている。
将来の傾向によると、インテリジェント流量計は遠隔監視、予測メンテナンス、適応制御を実現し、動的ガス配気器のインテリジェント化レベルをさらに向上させることができる。
愛拓利流量計シリーズ製品はアナログ信号、RS 232、RS 485、RS 422、CANバスを含む多種の通信インタフェースを提供し、マスターシステムとの統合を容易にし、遠隔監視と自動制御を実現し、これらの機能は未来のインテリジェント化の発展傾向に合致している。
炭素材料大会は同時期に2025ダイヤモンド年会、炭素繊維装備製造大会、新エネルギー炭素材料と電池大会などの応用端会議を開催し、半導体、新エネルギー、装備などの分野における炭素材料の革新的発展を深く検討する。
