電気脱イオン（EDI）とは

総有機炭素（TOC）モニタリングやホウ素モニタリングなどのツールは超純水システムの持続的なモニタリングと制御を行うことができるを使用して、高品質なウェハ製造を実現するのに役立ちます。リアルタイムにプロセス状況を把握することで、メーカーは偏差問題に迅速に対応することができ、同時に生産プロセスの中断を大幅に削減することができる。

超純水システムの動的特性は、継続的なモニタリングを特に重要にする。例えば、エディシステムの電圧を調整する場合、汚染物質レベルが安定するまでに1週間以上かかる可能性があり、その間、システムの水質に予測不可能な変動が生じる可能性があります。これらの過渡期にメーカーがリアルタイムモニタリングで対応できれば、ウエハ生産と品質を維持しながら調整を続けることができる。このような能力がない場合は、汚染物質が除去されるまで生産を一時停止するしかありません。このようなコストの高い中断は、製造運営効率に深刻な影響を与えます。

今日の競争が激しい半導体市場では、持続的な超純水品質制御は有益な措置から重要な要素にアップグレードされた-製品の品質を保障する前提であり、企業の収益性を維持するために必要な条件でもあります。

得られたデータは、EDI電力設定と施設廃水中のホウ素、シリカ含有量と電気伝導度レベルとの関係を示している。モニタリングにより、エンジニアは正確な制御戦略を実施することができ、汚染物質を効果的に除去し、エネルギー消費を最適化し、最終的に高い水質基準と運営コスト効果の二重目標を実現した。

Sievers Boron Ultra超純水オンラインボロン分析器現代の超純水品質管理システムにおける重要なツールである。持続的なモニタリングとリアルタイムの検出機能を提供することにより、この装置は工場がイオン汚染事件が問題を引き起こす前にタイムリーに予防するのを助けることができる。