純水超純水機の核心技術はその逐次浄化ロジックにあり、前処理から超純化カラムまで、すべてのステップは精密設計を経て、水質が実験室や工業応用の厳しい基準に達することを確保する。

前処理段階は浄化プロセス全体の礎石である。原水はまず石英砂フィルタを通過し、10ミクロン以上の懸濁粒子とコロイドを除去し、後続の逆浸透膜が閉塞により失効するのを防止する。次に、活性炭フィルターはその多孔質構造を利用して残留塩素、小分子有機物及び異臭を吸着し、化学汚染リスクを低減する。原水の硬度が高い場合、軟化器はイオン交換技術を通じてカルシウム、マグネシウムイオンを除去し、逆浸透膜のスケールアップを回避する。この段階の核心目標は、水に入る不純物の負荷を減らし、後続の深さ浄化のための条件を作ることである。

逆浸透（RO）段階は浄化プロセスの核心である。高圧ポンプ駆動下では、水分子は孔径わずか0.1ナノメートルのRO膜を通過し、溶解塩類、重金属、細菌、ウイルスなどの99%以上の不純物が遮断された。この時産出された純水抵抗率は1〜50マイクロシーメンス／cmに達することができるが、超純水基準からはまだ差がある。

超精製段階ではイオン交換またはEDI技術により脱イオンを実現する。イオン交換樹脂はスルホン酸基または四級アンモニウム基を用いて残留イオンを選択的に吸着し、抵抗率5〜15メガオーム・センチメートルの高純水を産生する。一方、EDI技術は電場とイオン交換を結合し、電流駆動イオンを通じて濃水室に移動させ、樹脂の自己再生を実現し、抵抗率18.2兆欧州・センチの超純水を持続的に産出し、化学薬剤の再生を必要としない。

最終処理段階では、二波長紫外線ランプ（185ナノメートルと254ナノメートル）を用いて微生物核酸を破壊し、総有機炭素（TOC）を分解し、0.22ミクロンろ過膜を配合して微粒子を遮断し、水質の「絶対清浄」を確保した。