全反射X線蛍光分光器（TXRF）は多元素微量分析のための科学機器であり、全反射X線蛍光技術を通じて液体、懸濁液、固体及び汚染物サンプル中の主量と微量（超微量を含む）元素の迅速、高感度検査を実現する。
TXRFは非常に小さな角度（通常0.1°未満）の入射X線により試料表面を照射し、X線に全反射現象を発生させる。このとき、入射X線は試料によって散乱されるのではなく、試料表層ミクロン級物質のみを励起し、特徴的なX線スペクトルを生成する。このプロセスは、検出器信号に対する散乱光子の干渉を明らかに低下させ、バックグラウンドノイズを大幅に低下させ（従来のXRFより約4段階低下させ）、それによってナク（ng）スケール微量元素の検出を実現する。
X線が臨界角未満（通常0.1°〜0.5°）で試料担体（石英シートなど）表面に入射すると、担体のX線吸収と散乱を回避するために全反射が発生し、試料（担体表面に均一に広がり、厚さ≦100 nm）中の元素原子が励起され、特徴的なX線蛍光（XRF）を放出し、検出器を通じて特徴X線のエネルギーと強度を収集し、エネルギーに基づいて元素種類を識別し、強度に基づいて元素含有量を定量的に計算する。
特徴：
高感度と低検出限界：超微粒子状物質と微量元素分析に適している。
サンプルの使用量が少ない：マイクロアップグレードまたはマイクログラム級サンプルだけで、正確な分析を完成でき、特にサンプル量が限られている場合に適している。
基体効果なし：全反射幾何配置は測定結果に対するサンプル基底の干渉を減少させ、定量分析はより簡単である。
迅速な非破壊検査：一回の検査時間は5分以内に短縮でき、サンプルを破壊する必要はない。
多元素分析能力：クロム、鉛などの8大主要重金属元素を同時に検出することができ、あるいは需要に応じて30近くの元素に拡張することができる。
操作の簡便さと安全：タッチインターフェースが直感的で、放射線暴露リスクが低く、操作者の安全を保障する。