1.ガス供給システム：外部の圧縮空気源が配管を介してプローブステージに接続されるガス路システム。ガスの品質を保証するために、まずろ過装置を経て、その中の不純物、水分、油汚れなどを除去し、これらの汚染物がプローブ台の内部に入って温度低下効果や設備の損傷に影響することを防止することができる。同時に、プローブテーブルの動作要件を満たすために圧縮空気の圧力を適切な範囲に調整する圧力調整装置を備えています。

2.空冷盤などの冷却部品：プローブ台の重要な発熱部位、例えばサンプル台またはチャックの下に、空冷盤が設置されている。空冷盤の内部には通常、複雑な気道構造が設計されている。圧縮空気が空冷盤に入ると、これらの気道に沿って均一に分布し、その後、空冷盤上の排気溝またはオリフィスを通過して、一定の流速と角度で吹き出し、均一な冷気流を形成し、サンプルやプローブなどの冷却が必要な部位に直接作用し、熱を奪う。

3.温度制御システム：温度低下の程度と安定性を正確に制御するために、高低温プローブ台は温度センサーを備え、サンプル台または重要部位の温度をリアルタイムで監視する。温度センサは温度信号をコントローラにフィードバックし、コントローラは予め設定された温度値と実際の測定値の違いに基づいて、圧縮空気の流量や圧力を自動的に調節する。例えば、温度が設定値より高い場合、圧縮空気流量を増加させて冷却効果を高める、逆に流量を減らし、温度を設定した範囲内に保つ。

4.循環と回収システム：一部の先進的な高低温プローブ台はまたガス循環と回収システムを設計する。吹き出した空気は、冷却任務を完了した後、特定の通路を通じて収集され、処理（濾過、除湿など）を経た後、再び空冷システムに送り込まれて循環利用される。これにより、エネルギー利用効率が向上し、圧縮空気の消費が減少するとともに、作業環境の安定性維持にも役立つ。

5.チャンバの密封と防護：外部からの熱空気の侵入と内部からの冷気の漏洩を防止するために、プローブテーブルの作業チャンバは通常良好な密封性能を持っている。同時に、断熱材を用いてチャンバを包囲し、熱の伝達を減少させ、温度降下効果と温度制御の精度をさらに高め、外部の空気を効果的に遮断し、大量の水蒸気が液化して露を形成するのを防止し、乾燥した作業環境を形成する可能性がある。