1.発生器持参監視機能を用いた判断

• 設備に内蔵された純度測定器の示度を調べ、多くのハイエンドモデルはオンライン酸素含有量センサーを搭載し、不純物酸素含有量をリアルタイムに表示することができる（基準達成には≦5 ppm必要、窒素純度≧99.999%に対応）。
• 設備の運行状態を観察し、発生器が頻繁に警報し、ガス発生圧力の変動が大きいか、再生周期が異常に短縮された場合、モレキュラーシーブ吸着効率が低下し、純度が基準を満たしていない可能性がある。
• 設備パラメータの設定を確認し、出力圧力、流量が液質システムの要求に符合し、圧力/流量が不安定であることは間接的に純度検査の正確性に影響する可能性があることを確認する。

2.第三者による専門的な検査検証

• 資質を備えた検査機構に依頼し、ガスクロマトグラフィー（GC-TCD）または専用窒素純度分析器を用いてオフライン検査を行い、窒素ガス中の酸素、二酸化炭素、水分などの不純物含有量を直接測定する。
• 検査時に発生器の排気口で直接サンプリングし、管路汚染の影響結果を避け、検査報告書は各不純物の含有量を明確にし、すべて液質併用の許容閾値（例えば水分≦10 ppm）より低いことを確保する必要がある。
• 6-12ヶ月ごとに検査することを提案して、もし設備の使用が頻繁であるか環境の粉塵、湿度が大きいならば、検査周期を短縮することができます。

3.液質併用システムによる運転状態フィードバック

• 液質システムの霧化効果とイオン源の安定性を観察し、もし噴霧が不均一で、イオン源が汚染しやすいならば、窒素ガス中に油を含み、水を含み、純度不足を招く可能性がある。
• 検出データの品質を確認し、クロマトグラフィーのピーク形状の尾引き、応答値の変動が大きく、信号対雑音比が低下したり、定性定量結果の繰り返し性が悪い場合、窒素ガスの純度が基準を満たしておらず、イオン化過程に干渉している可能性がある。
• 新交換モレキュラーシーブ/フィルターコア前後の液質運転状態を比較し、交換後のシステム安定性が明らかに向上した場合、これまでの純度が消耗品の老化により基準を満たしていなかった可能性があることを説明する。

4.補助判断：管路と消耗品の状態検査

• 再生器の後にフィルターカートリッジ（例えば活性炭フィルターカートリッジ、脱水フィルターカートリッジ）を設置した状態を検査し、フィルターカートリッジが変色、閉塞すると、不純物が残留し、窒素ガスの純度に影響を与える可能性がある。
• 送気管路が漏れたり汚染されたりしていないかどうかを調査し、管路が老化し、継手がゆるむと空気不純物が導入され、継手に石鹸水を塗布し、気泡が発生しているかどうかを観察する必要がある。
• 発生器を2〜3年以上使用し、かつモレキュラーシーブを交換していない場合、吸着剤の飽和により純度が低下する可能性があり、モレキュラーシーブを交換してから純度を検証することができる。