液槽密封式空気浄化ユニット（FFU）

ファンフィルタユニット（FFU）

すいへいパーマネント百段テーブル

垂直流ゼロ振動百段テーブル

カーテン付き百段超清浄テーブル

活性炭ろ過箱（活性炭排ガス吸着装置）