新作襲来！Phenom XL G 3走査型電子顕微鏡には3000 hフィラメントが搭載されており、5年に1度交換され、本当に安心してお金を節約できます。AI知能、自動パズル、集積エネルギースペクトル、工業4.0級検査を簡単に実現する。科学研究実験室でも生産現場でも、迅速で安定した運行ができる。

「特徴速覧」

• 安定した信頼性：80年のトップ技術の伝承。

• CeB 6の採用クリスタルフィラメント:3000 h超長寿命、平均5年フィラメント交換。

• 工業4.0向け自動化とAIインテリジェント走査電子顕微鏡：プログラミングインターフェースを開放し、カスタマイズされた「ブラックランプ実験室」の検査プロセスを構築し、Mapsの地図式マルチモーダル、多次元自動パズル及び関連をサポートする。

• インストール環境を選択しない：減衰システムを内蔵し、生産現場、高床QC実験室などに直接置くことができる。

• 元工場集積エネルギースペクトルEDS：電子光学設置、画像収集からエネルギースペクトル分析と面分布まで、すべて同じ統一、直観的な界面で完成した。

• 低電圧イメージング機能：非導電性、導電性が悪く、電子ビーム感受性サンプルに対しては、金を噴霧せず、卓越したイメージング能力を持っている。

01.80年の最先端技術の伝承

（1）フィリップス時代（1939-1996）

• 起源：1939年、Le Pooleは電子顕微鏡構想を提出し、1944年に150 kV電子顕微鏡の開発に成功し、技術的基礎を築いた。

• 開発：1949年に初の商用化電子顕微鏡EM 100が発売された。1972年にSEM市場に参入し、PSEM 500を発売するなど、革新的な製品を次々と発売している。

（2）FEI期間（1996-2016）

• 合併：1997年、フィリップス電子光学事業はFEIと合併し、ESEM技術を獲得し、技術力が強化された。

• 革新：2006年には1500 h長寿命CeB 6フィラメントを使用したデスクトップ型走査電子顕微鏡Phenom Worldを発売した。

（3）サイマー飛行時期（2016-現在）

• 買収：2016年、FEIはサイマーフライに買収された。2018年にPhenom Worldはサイマーフライに買収され、正式にThermo Scientificブランドに改称された。

• 伝承と発展：技術的にFEIの革新的な成果を継承し、性能を向上させ続けている。現在、CeBフィラメントシリーズのほか、卓上電界発射電子顕微鏡シリーズ、公安法医など特定分野専用電子顕微鏡があり、製品ラインが豊富で、型番は数十種類に達する。

飛納電子顕微鏡はフィリップスからサイマー飛まで、80年近くの技術沈殿を経て、最初の構想と商業化から、絶えない技術革新と突破まで、電子顕微鏡の分野でリード（ling）の地位を維持してきた。

02.3000h セブ6 結晶フィラメント-平均5年間フィラメント交換

超長寿命コア部品を持ち、3000時間の高輝度六ホウ化セリウム（CeB 8326）フィラメントを採用し、平均5年でフィラメントを交換し、設備の7×24時間の連続運転を確保し、メンテナンス頻度と保有コストを削減し、生産ラインまたは実験室の長期安定運転を安心させる。

03. AIインテリジェント走査電子顕微鏡--工業向け4.0の自動化

サンプルを組み立ててから図を出すまで、わずか1分で、高いテスト効率、オペレータは長い待ち時間を必要とせず、検出フラックスは伝統的な電子顕微鏡より5-10倍上昇し、QC判断と研究開発の反復を大幅に加速した。

（1）「必要に応じて奥行き統合」

オープンな自動化インタフェース、Pythonスクリプト制御（PPI）を提供し、顧客の既存の自動化ラインとLIMSシステムにシームレスに統合することができる。精密な自動化モーター台、ソフトウェアスクリプトを結合し、一度に36個のサンプルを収容でき、「無人の品質検査工場」を作り、設定プログラムをカスタマイズし、夜間や休憩時間に大量のサンプルを自動撮影と分析し、最も（zui）大きな設備利用率を実現する。

（2）「1枚の図で全貌を見て、多点分析に漏れがない」

ウエハ、濾過膜、金属断面などの大サンプルにおいて、自動的にパノラマハイビジョン図を取得し、そして予め設定されたキービットに対して高倍率分析を行い、検出に死角がないことを確保する。

（3）「見る」から「計算する」へ

専門の自動化分析ソフトウェア、ParticleMetric（粒子統計）、FiberMetric（繊維統計）などの専用ソフトウェア。自動化完了には人手で数時間かかる粒度、形態、寸法分布などの統計作業を行い、標準化報告書を出力し、真の量子化品制御を実現する。

04インストール環境を選ばない

内蔵ダンパーシステム、環境適合性

減衰システムを内蔵し、設置環境に対する要求が低く、防振台を必要とせず、生産現場、階層QC実験室などに直接置くことができ、さらに車載、野外シーンで使用することもできる。実験室の改造費用を節約し、「買えて、もっと使える」ようにする。

フェナー電子顕微鏡はアイスランドの火口、スペインの無人島などの科学研究プロジェクトに参加したことがあり、劣悪な環境に適した携帯型走査電子顕微鏡である。科学研究者はサンプルを採取してテントに戻り、飛納電子顕微鏡を利用してサンプルの化学構成を確定し、サンプル採取と分析の効率を大幅に高めた。

05.原工場集積エネルギースペクトルEDS

集積エネルギースペクトル検出器、すべての操作：電子光学設定、画像収集からエネルギースペクトル分析と面分布まで、すべて同じ統一、直観的な界面で完成する。

（1）ChemiSEMカラーイメージング技術

形態画像と要素データはリアルタイムに同期し、シームレスに呼び出される。ユーザーは形態を観察しながら、ポイント、線、面の分析を瞬時に行うことができ、データのインポート導出の手順は必要ありません。

（2）Phase Mapping相解析ソフトウェア

独自のオンライン位相分析ソフトウェアモジュール（Phase Mapping）は、強力なアルゴリズムを用いて、画素点ごとの元素定量結果に基づいて、異なる「相」または「化合物」を自動的に識別、分類し、標定する。

06.低電圧撮像機能

PhenomXL G 3は真空設計と後方散乱検出器（BSD）を新たにアップグレードし、低電圧下の感度を最適化し、全体の信号対雑音比（S/N）を向上させ、非導電性、導電性が悪い、及び電子ビーム敏感サンプルに対して、より低いビームストリームを用いて撮影することができ、解像度を向上させると同時に、荷電効果による影響を低減する。

全体的な信号対雑音比の向上により、より短い収集時間を使用して同じ品質の写真を収集することができ、自動化ワークフローにおいて、高スループット写真撮影の総効率は平均30%向上する。

エレクトロニックセラミックス

• 倍率：1000 X

• 5kV，未噴金、後方散乱電子像

• セラミックス内の結晶粒の大きさと空隙が観測された

CMOS検出器

• 倍率：5000 X

• 2kV，にじでんしぞう

• 画素セル及び表面汚染物が明確に見える