プラズマ窒化プロセスに対して、窒化炉においてプノークの真空技術を利用する。

プラズマ窒化技術は熱処理にますます重要になっている。yi流の技術と制御措置は化合物層と拡散層の構造と成分が持続的な制御と監視を得ることができることを確保する。パルス直流プラズマは均一な熱処理効果を実現するために用いられる。この熱化学プロセスの利点は、520°Cと580°Cの間の比較的低い温度で熱処理できることである。大気圧下でプラズマを導電性にするために必要な温度は経済的に現実的ではない。しかし、実際には、2.5 mbarの圧力で動作し、このような条件により、600℃未満の温度での熱処理が可能になる。これは他の熱処理方法に比べて非常に低い温度であり、アセンブリのねじれ特性に極めて積極的な影響を与える。この方法のもう1つの利点は、アセンブリ内の窒素化を必要としない様々な部分を機械的にマスキングすることができ、それによって窒素化プロセスから選択的に除外することができることである。これにより、マスク部の底面の特性が変化することはない。

プラズマ窒化プロセスを実際に実行する前に、処理するコンポーネントを固定デバイス上に正確に配置する必要があります。部品は窒化炉の適切な位置に置かなければならず、理想的な表面特性を実現することができない。フィードプロセスが終了し、窒化炉を閉じた後、窒化炉を所望のプロセス圧力まで真空引きし、壁装式伴熱器を用いて加熱する。この加熱プロセスが終了すると、アセンブリは窒素雰囲気中のグロー放電にさらされます。この過程で、窒素は解離とイオン化を行い、アセンブリ表面で燃焼する。正確な処理温度と窒化持続時間は、アセンブリの材料、サイズ、成分、および達成される窒化層の深さに依存する。窒化プロセスが完了すると、窒化炉とアセンブリが冷却されます。プロセス全体は17～30時間続きます。この期間中、しんくうシステムずっと運転中です。

この真空システムには、油潤スライド式ロータ真空ポンプ（前段ポンプとして）とルーツ真空ポンプが含まれています。このシステムは1 x 10−2 mbar未満の限界圧力を実現することができ、プロセス中の実際の動作圧力は2.5 mbarである。これにより、真空システムの好適な抽気速度、すなわちこの運転範囲内の高い速度を十分に利用することができる。

プロセス開始時、スピンチップ真空ポンプは窒化炉を大気圧から100 mbarの粗真空状態に抽気した。この時点でのみルーツ真空ポンプが動作します。過給ポンプとしては、真空システムの抽気速度を著しく向上させ、それによりプロセス圧力を迅速に実現し、確実に維持することができる。真空システムとスピンチップ真空ポンプ及びその制御装置を組み合わせて使用し、特にプロセスに対して協調することにより、ほぼ低いエネルギー消費で速い抽気速度を実現することができる。

作動圧力と抽気速度を正確に維持することによって、運転能力とプロセスの複製性を確保することができ、それによって理想的な製品特性を正確に実現することができる。窒化プラズマの多くは高合金ステンレス鋼であるが、建築用鋼や焼結金属もこの技術を用いて熱処理を行う。

普諾克真空堅持：真空技術の信頼性は重要な課題である。これは、窒素化プロセスにおける真空システムの故障により、高品質、高コストの精密コンポーネント全体が廃棄されるためである。その間、真空供給に支障はなかった。

しんくうシステム低レベルのメンテナンスのみが必要です。毎日油位を目視検査するほか、ロータ真空ポンプおよびルーツ真空ポンプギアのオイルは2年ごとに交換するだけです。