この圧力制御器は2つの電磁弁を集積し、吸気弁はプロセスガスをキャビティに導入し、密閉空間の圧力を維持し、圧力が高すぎると、圧力を逃がす弁は自ら開いて圧力を逃がし、圧力の安定を迅速かつ正確に制御し、同時にガスの浪費を回避する。

圧力を制御するために必要なすべての機能を持つ高精度、迅速で安定した、信頼性の高い圧力制御を提供する圧力センサとデジタル回路基板を標準装備している。標準的なRS 485出力信号を搭載するほか、ACU 20 PCDはアナログ量入力/出力信号を提供し、設定値を調整することでプロセス全体を正確に制御することができる。また、ディスプレイにタッチすることで操作が容易になります。

この圧力制御器は、超高速で安定した制御特性を持つ比例式電磁制御弁を使用している。

密閉空間圧力調整プロセスの概略図