高温真空熱プレスウエハ溶接、薄膜転移、LCP(液晶高分子)積層に特化している。加熱ゾーン100 mmx 100 mmまたは300 mmx 300 mm。設備の最高温度は500℃、最大圧力は20-40 Tに達することができる。
主な技術パラメータ:
1、熱圧面積:100 x 100 mmまたは300 x 300 mm
2、加熱平板表面平坦度:10 um
3、加熱電力:1000 Wまたは6000 W
4、真空チャンバサイズ&容積:525 Lx 480 Wx 450 H(mm)75 Lと572 Lx 620 Wx 480 H(mm)170 L
5、最大圧力:10 T、20 T、40 T
6、真空熱プレス板:2つの加熱平板、2つの温度制御ユニット
7、油圧ポンプ:シリンダ最大移動ストローク:15 mm
8、圧力精度:+/-0.01 mpa(0.1 kg/cm 2)
9、温度制御器:最大加熱速度:2.5℃/min
10、圧力表示:圧力計数表示
11、AC208-240V50/60Hz,単相
12、真空キャビティ:真空キャビティ上に直径が中300 mmの真空シールドアがあり、ドア上に直径が中150 mの石英観察窓がシリカゲルシールリングでシールされている
13、設備重量:150 KG
高温真空熱プレスの品質を判断する方法:
ハードウェア品質検査:
運転状態:高品質設備の騒音が低く、振動が軽く、不良機に明らかな金属衝突音がある。
鄒コア部品:優先的に合金材質ホスト(スクリューマシンなど)を選択し、モータは銅線巻線でなければならない。ガス貯蔵タンクには圧力容器製造許可証が必要である。
セキュリティと機能テスト:
安全防護:過熱保護、過圧警報及び非常停止ボタンが必要である。
連続運転:10回以上連続運転して過熱がないことを要求し、試験時にラジエータ温度を観察する。