グローブボックス専用イオンスパッタリング計はリチウム電池電極の酸化防止研究において多重作用を有する。それは高エネルギーイオンビームによって材料表面を衝撃させ、汚染物と酸化物を除去し、材料表面を原子レベルの清浄度に到達させ、それによってその物理と化学特性を改善する。

1.電気伝導膜、絶縁膜などの機能性フィルムを堆積することができ、これらのフィルムは電極材料を環境影響から保護し、その安定性と性能を強化することができる。

2.グローブボックスが提供する無水無酸素環境は効果的に電極材料の製造過程における酸化と加水分解反応を回避し、材料の純度と構造完全性を確保した。

3.スパッタパラメータを正確に制御することにより、研究者は薄膜の厚さと成分の正確な制御を実現することができ、これは高性能、長寿命のリチウム電池の開発にとって極めて重要である。

グローブボックス専用イオンスパッタリング装置はリチウム電池電極の酸化防止研究において重要な役割を果たし、その保護機能における過電流と真空二重保護機構はさらに重要である。

1.過電流保護機能は電流が異常に上昇した時に直ちに措置をとり、設備が過電流による損傷を防止することができる。イオンスパッタリング中に電流が大きすぎる場合は、ターゲットの短絡や回路障害に起因する可能性があります。このとき、この機能はすぐに電源を切り、ハードウェアの焼失や連鎖反応の恐れがないようにし、あるモデルのように過電流保護を標準的に設定しています。

2.真空双保護は多方面から実験環境を保障する。それは2段の直列回転板式真空ポンプによって手袋箱内の高真空度（<1 Pa）を維持し、酸素と水蒸気による電極の汚染を減らす。真空度が設定した閾値を下回ると、システムはスパッタを自動的に停止し、予備ポンプを起動し、不活性ガス環境の安定を確保し、電極の酸化を防止する。同時に、集積された酸素含有量分析器と水含有量分析器はリアルタイムで箱内環境を監視し、酸素または水分が基準を超えたことを検出すると、直ちに警報をトリガし、ガス流量を調整し、さらに酸化リスクを低減する。また、めっき終了後、システムはゆっくりと常圧を回復し、圧力急変によるサンプル損傷を回避します。