ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計

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概要

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（加熱型）は片側二電極差分容量設計を採用し、プロセスガスに暴露された材料はすべてInconel/Incoloy合金である。

製品詳細

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（かねつがた）

加熱型容量金属薄膜真空計は片側二電極差分容量設計を採用し、プロセスガスに暴露された材料はすべてインコネル/インコロイ合金、超高感度のフロントエンド回路と*アルゴリズムは、動作圧力下で高い感度と測定精度を保証し、応答が迅速で、性能が安定で、耐食性が強く、45℃まで120℃複数の恒温バージョン、0.1 Torrまで1000 Torr全シリーズフルスケール範囲で、優れた性能を持ち、過酷な半導体とプラズマ、ハイリスク材料の精製などの正確な総圧測定と制御の理想的な選択に適している。

DMG100シリーズ圧力センサは恒温故障と設備故障リレー出力機能を有する。

長所

1.恒温型金属薄膜の差動容量絶圧センサ

l高感度

l高精度と再現性

l長期安定性が高い

2.センサはすべて堅牢で耐食性インコネル合金

lガスに依存せず、測定結果はガス成分とは無関係である

l腐食性または汚れたガスとの併用を許可する

l真空計材料はプロセスに汚染がない

3. 出力信号が豊富

l統合が容易で、インタフェースが豊富で、さまざまなシステム統合ニーズに対応

lスタンドアロンタイプC診断、デバッグ、構成インタフェース

4.こしょうしゅつりょくきのう/圧力トリガ出力機能

lリレーによる出力：恒温故障と設備故障/あつりょくトリガしんごう

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（かねつがた）

技術仕様

指標	仕様パラメータ
フルスケールレンジ	0.1 Torr，1トル，10 Torr，100 Torr，1000 Torr
せいど	≧1 tor±0.25%の読み取り、＜1 tor±0.50%の読み取り
解像度	0.001%FS
推奨読取り範囲	0.005Vから10V@FS
推奨制御圧力範囲	0.05Vから10V@FS
デバイス内部温度オプション	45℃，80℃，100℃
よねつじかん	2時間≥1ト；4時間＜1トル
環境温度	15まで40℃@45℃ないぶこうおん
トリガ機能	オプションで、2ウェイシングルカッター2重スイッチ、分布設定可能0.1%~100%FS任意圧力、リレー容量0.6A@30VDC
こしょうしゅつりょくきのう	オプションで、リレー出力による恒温故障と設備故障
出力	0〜10VDCアナログ出力、＞10KオームRS422 の出力（RS485 のオプション）
電気コネクタ	D-サブ，15足、針型ソケット、M8 の航路挿通、5脚、穴型ソケット
入力電源	±15VDC（±5%）、24VDC（±5%)または20~26VDC;ピーク値40W@100℃，35W@45℃
ちょうあつせいげん	45PSIA
プロセスガスに曝露された材料	注入管は316L材料、残りはすべてインコネル和インコロイ合金
センサ応答時間	≥1 tor 25ミリ秒;＜1 Torr 50ミリ秒
キャリブレーション方向	デフォルトの垂直較正、水平較正オプション
ないぶたいせき	5.1ミリリットル（注入インタフェースを含まない）

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