ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（高温タイプ）

高温型容量金属薄膜真空計は片側二電極差分容量設計を採用し、プロセスガスに暴露された材料はすべてインコネル/インコロイ合金、超高感度のフロントエンド回路と*アルゴリズムは、作動圧力下で高い感度と測定精度を保証し、応答が迅速で、性能が安定で、耐食性が強く、提供する150℃まで200℃2つの高温バージョンは容量膜シートに対する堆積物質の影響を大幅に改善し、1トルまで1000 Torrフルスケールの範囲で優れた性能を持ち、過酷な半導体に適している、プラズマ和ハイリスク材料の精製等領域、Yes正確な総圧測定と制御の理想的な選択。

長所

1.高温型金属薄膜の差動容量絶圧センサ

l高感度

l高精度と再現性

l長期安定性が高い

2.センサはすべて堅牢で耐食性インコネル合金

lガスに依存せず、測定結果はガス成分とは無関係である

l腐食性または汚れたガスとの併用を許可する

l真空計材料はプロセスに汚染がない

3.出力信号が豊富

l統合が容易で、インタフェースが豊富で、さまざまなシステム統合ニーズに対応

lスタンドアロンタイプC診断、デバッグ、構成インタフェース

4.こしょうしゅつりょくきのう/圧力トリガ出力機能

lリレーによる出力：恒温故障と設備故障/あつりょくトリガしんごう

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（高温タイプ）

技術仕様

指標	仕様パラメータ
フルスケールレンジ	1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr，定制
せいど	±0.5%の示度
解像度	0.001%FS
推奨読取り範囲	0.005Vから10V@FS
推奨制御圧力範囲	0.05Vから10V@FS
デバイス内部温度オプション	150℃，200℃
よねつじかん	4時間
環境温度	15～50℃
トリガ機能	オプションで、2ウェイシングルカッター2重スイッチ、分布設定可能0.1%~ 100%FS任意圧力、リレー容量0.6A@30VDC
こしょうしゅつりょくきのう	オプションで、リレー出力による恒温故障と設備故障
出力	0−10 VDCアナログ出力、＞10 Kオーム、RS 422出力（RS 485オプション）
電気コネクタ	D-Sub，15脚、針型ソケット、M 8航路挿通、5脚、穴型ソケット
入力電源	±15 VDC（±5%）、24 VDC（±5%）または20 ~ 26 VDC、ピーク値50W@150℃，70W@200℃
ちょうあつせいげん	45PSIA
プロセスガスに曝露された材料	注入管は316 L材料、残りはすべてInconelとIncoloy合金
センサ応答時間	50ミリ秒
キャリブレーション方向	デフォルトの垂直較正、水平較正オプション
ないぶたいせき	5.1 ml（注入インタフェースを含まない）

杭州域勢科技有限公司工業及び科学研究の顧客に流量、圧力、真空検査及び制御に関する技術サービス及び解決方案を提供することに専念し、会社は代理販売米国ALICAT、スイスのVogtlin、米国のMKS、日本のEBARAなどのブランドは、代理の製品を結合して顧客に良質な流量と圧力監視ソリューションを提供し、顧客の研究開発と生産効率を高め、顧客の製造技術を改善し、顧客の科学研究と革新の進度を推進することを目的としている。