ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（温補型）は片側二電極差分容量設計を採用し、プロセスガスに暴露された材料はすべてInconel/Incoloy合金である。

製品詳細

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（温補型）

温補型容量金属薄膜真空計は片側二電極差分容量設計を採用し、プロセスガスに暴露された材料はすべてインコネル/インコロイ合金、超高感度のフロントエンド回路と*アルゴリズムは、動作圧力下で高い感度と測定精度を保証し、応答が迅速で、性能が安定で、耐食性が強く、独特の温度補償アルゴリズムは製品の急速な安定を支援する。提供する1トルまで1000 Torrフルスケール範囲、低コスト、高パフォーマンスの特徴、めっき業界、半導体とプラズマ応用などの劣悪な生産加工環境に適用する，そのために安定したパフォーマンスを提供します。

長所

1.温度補償型金属薄膜の差動容量絶圧センサ

l高感度

l高精度と再現性

l長期安定性が高い

l迅速な作業状態への到達

2.センサはすべて堅牢で耐食性インコネル合金

lガスに依存せず、測定結果はガス成分とは無関係である

l腐食性または汚れたガスとの併用を許可する

l真空計材料はプロセスに汚染がない

3.出力信号が豊富

l統合が容易で、インタフェースが豊富で、さまざまなシステム統合ニーズに対応

lスタンドアロンタイプC診断、デバッグ、構成インタフェース

4.圧力トリガ出力機能

lリレーによる圧力トリガ信号の出力

ドメインポテンシャル科学技術容量金属薄膜真空計（温補型）

技術仕様

指標	仕様パラメータ
フルスケールレンジ	1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr，定制
せいど	±0.5%の示度
解像度	0.001%FS
れいおんどけいすう%フルレンジ/℃	0.015%
レンジ温度係数%示度/℃	0.02%
推奨読取り範囲	0.005Vから10V@FS
推奨制御圧力範囲	0.05Vから10V@FS
デバイス内部温度オプション	非定温、温度補償アルゴリズム
よねつじかん	30分
環境温度	0まで40℃
トリガ機能	サポート、二路単刀二置スイッチ、分布は設定可能0.1%~ 100%FS任意圧力、リレー容量0.6A@30VDC
こしょうしゅつりょくきのう	オプションで、リレー出力による恒温故障と設備故障
出力	0−10 VDCアナログ出力、＞10 Kオーム、RS 422出力（RS 485オプション）
電気コネクタ	D-Sub，15脚、針型ソケット、M 8航挿、7脚、穴型ソケット
入力電源	±15 VDC（±5%）、24 VDC（±5%）または20 ~ 26 VDC、5W
ちょうあつせいげん	45PSIA
プロセスガスに曝露された材料	注入管は316 L材料、残りはすべてInconelとIncoloy合金
センサ応答時間	25ミリ秒
キャリブレーション方向	デフォルトの垂直較正、水平較正オプション
ないぶたいせき	5.1 ml（注入インタフェースを含まない）

杭州域勢科技有限公司工業及び科学研究の顧客に流量、圧力、真空検査及び制御に関する技術サービス及び解決方案を提供することに専念し、会社は米国ALICAT、スイスVogtlin、米国MKS、日本EBARAなどのブランドを代理販売し、代理の製品を結合して顧客に良質な流量及び圧力監視解決方案を提供し、顧客の研究開発及び生産効率を高め、顧客の製造技術を改善し、顧客の科学研究及び革新の進度を推進することを目的とする。

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