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ドメインポテンシャル科学技術容量複合真空計

交渉可能更新12/18
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
ドメインポテンシャル科学技術容量複合真空計(ピラニ)は容量セラミック薄膜センサ技術とピラーセンサの利点を1つの製品に統合し、同時に高精度と広いレンジを兼ね備えている。
製品詳細

ドメインポテンシャル科学技術容量複合真空計(ピラニ)

ドメインポテンシャルテクノロジーピラニ容量複合真空計静電容量セラミック薄膜センサ技術とピラーセンサの利点を1つの製品に統合し、同時に高精度と広いレンジを兼ね備えている。

測定範囲3.8×10-5<戻るまで1500 Torr、粗真空段はセラミック容量薄膜センサを採用し、測定精度が高く、ガスタイプとは関係がない。高い真空セグメント使用MEMSピラニセンサー。中和粗真空範囲の測定に適用し、自己ロック制御、システム安全回路、前段真空圧力測定と正確な圧力測定と制御に大量に応用する。性価比を追求した中粗真空範囲内制御圧の良いを選択します。

長所

1.ふくごうがたあつりょくセンサ

l高精度(10 tor-1500 tor)読取り未満の<0.5%),かつガス成分に無関係

lワイドレンジ(3.8×105トルまで1500Tor)

2.コストパフォーマンス

3.出力信号が豊富

l統合が容易で、インタフェースが豊富で、さまざまなシステム統合ニーズに対応

lスタンドアロンタイプC診断、デバッグ、構成インタフェース

4.圧力トリガ出力機能

5.圧力リアルタイム画面表示機能

ドメインポテンシャル科学技術容量複合真空計(ピラニ)

技術仕様

指標

仕様パラメータ

測定範囲

3.8×10-5Torr ~ 1500 Torr

せいど

3.8×10-5 - 1×10-4Torr示度±50%@窒素/空気校正

1×10-4−20 Torr精度±15%@窒素/空気較正、

0.05-10 Torr精度±10%@ガス種に依存しない(オプション)、

10-1500 Torr精度±0.5%@ガス種に依存しない(オプション)、

解像度

0.001%FS

デバイス内部温度オプション

非定温、温度補償アルゴリズム

よねつじかん

10分

環境温度

0まで40℃

トリガ機能

サポート

出力

構成可能0−10 VDCアナログ出力、>10 Kオーム、RS 422出力(RS 485オプション)

電気コネクタ

FCC68 8ピン(オプションD-Sub 9ピンピンタイプソケット)、M 8航路挿通、5脚、穴型ソケット

入力電源

9~36VDC;3W

ちょうあつせいげん

2000 Torr

プロセスガスに曝露された材料

316L、アルミナセラミックス、シリコン、シリカ、窒化ケイ素、アルミニウム、ガラス、金、ゴム

センサ応答時間

≧20 Torr 25 ms、<20 Torr 50 ms

キャリブレーション方向

任意の方向

ないぶたいせき

1.1 ml(注入インタフェースを含まない)


ピラニ真空計に基づいてねつでんどうげんり、真空環境における加熱ワイヤの熱放散速度を測定することにより(ガス分子密度/圧力変化)による抵抗または温度変化により、真空圧力の間接測定を実現する。


杭州域勢科技有限公司工業及び科学研究の顧客に流量、圧力、真空検査及び制御に関する技術サービス及び解決方案を提供することに専念し、会社は代理販売米国ALICAT、スイスのVogtlin、米国のMKS、日本のEBARAなどのブランドは、代理の製品を結合して顧客に良質な流量と圧力監視ソリューションを提供し、顧客の研究開発と生産効率を高め、顧客の製造技術を改善し、顧客の科学研究と革新の進度を推進することを目的としている。