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yuseetek@163.com
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アドレス
杭州市上城区建塘路221号同協金座13棟206室
杭州域勢科技有限公司
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杭州市上城区建塘路221号同協金座13棟206室
ドメインポテンシャル科学技術容量複合真空計(ピラニ)
ドメインポテンシャルテクノロジーピラニ容量複合真空計静電容量セラミック薄膜センサ技術とピラーセンサの利点を1つの製品に統合し、同時に高精度と広いレンジを兼ね備えている。
測定範囲3.8×10-5<戻るまで1500 Torr、粗真空段はセラミック容量薄膜センサを採用し、測定精度が高く、ガスタイプとは関係がない。高い真空セグメント使用MEMSピラニセンサー。中和粗真空範囲の測定に適用し、自己ロック制御、システム安全回路、前段真空圧力測定と正確な圧力測定と制御に大量に応用する。性価比を追求した中粗真空範囲内制御圧の良いを選択します。
長所
1.ふくごうがたあつりょくセンサ
l高精度(10 tor-1500 tor)読取り未満の<0.5%),かつガス成分に無関係
lワイドレンジ(3.8×10-5トルまで1500Tor)
2.コストパフォーマンス
3.出力信号が豊富
l統合が容易で、インタフェースが豊富で、さまざまなシステム統合ニーズに対応
lスタンドアロンタイプC診断、デバッグ、構成インタフェース
4.圧力トリガ出力機能
5.圧力リアルタイム画面表示機能
ドメインポテンシャル科学技術容量複合真空計(ピラニ)
技術仕様
指標 |
仕様パラメータ |
測定範囲 |
3.8×10-5Torr ~ 1500 Torr |
せいど |
3.8×10-5 - 1×10-4Torr示度±50%@窒素/空気校正 1×10-4−20 Torr精度±15%@窒素/空気較正、 0.05-10 Torr精度±10%@ガス種に依存しない(オプション)、 10-1500 Torr精度±0.5%@ガス種に依存しない(オプション)、 |
解像度 |
0.001%FS |
デバイス内部温度オプション |
非定温、温度補償アルゴリズム |
よねつじかん |
10分 |
環境温度 |
0まで40℃ |
トリガ機能 |
サポート |
出力 |
構成可能0−10 VDCアナログ出力、>10 Kオーム、RS 422出力(RS 485オプション) |
電気コネクタ |
FCC68 8ピン(オプションD-Sub 9ピンピンタイプソケット)、M 8航路挿通、5脚、穴型ソケット |
入力電源 |
9~36VDC;3W |
ちょうあつせいげん |
2000 Torr |
プロセスガスに曝露された材料 |
316L、アルミナセラミックス、シリコン、シリカ、窒化ケイ素、アルミニウム、ガラス、金、ゴム |
センサ応答時間 |
≧20 Torr 25 ms、<20 Torr 50 ms |
キャリブレーション方向 |
任意の方向 |
ないぶたいせき |
1.1 ml(注入インタフェースを含まない) |
ピラニ真空計に基づいてねつでんどうげんり、真空環境における加熱ワイヤの熱放散速度を測定することにより(ガス分子密度/圧力変化)による抵抗または温度変化により、真空圧力の間接測定を実現する。
杭州域勢科技有限公司工業及び科学研究の顧客に流量、圧力、真空検査及び制御に関する技術サービス及び解決方案を提供することに専念し、会社は代理販売米国ALICAT、スイスのVogtlin、米国のMKS、日本のEBARAなどのブランドは、代理の製品を結合して顧客に良質な流量と圧力監視ソリューションを提供し、顧客の研究開発と生産効率を高め、顧客の製造技術を改善し、顧客の科学研究と革新の進度を推進することを目的としている。