X線放射分光器

鄒国創科儀X線放射分光器スーパーXAFS E6000

コアパラメータ

1.エネルギー範囲：5-18 keV

2.エネルギー分解能：≤2.0 eV@（7-9 keV）

3.エネルギー繰返し性：≦30meV@24h

4.X線源：配置電力≧100 Wマイクロ焦点スポット×線源（2つのターゲットPd/W）、電圧20-40 kV、管電流4 mA、コア-正孔生成速度≧1011/s＠（7-9 keV）

5.面検出器：キャピラリフォーカスミラーを装備し、サンプルにおけるフォーカススポット≦100 um、フォーカスミラーは自動的に切り替えることができる

6.調整機構精度：エネルギー走査時の最小ステップ長0.1 eV

鄒国創科儀X線放射分光器スーパーXAFS E6000

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は元素の定性と定量分析のための計器であり、主な作用は以下を含む：

試料中の元素組成を確定する：金属、鉱石、土壌、生物試料などに広く応用されている。

測定元素含有量：特徴X線の強度を分析し、試料中の各元素の質量分率を定量的に計算することにより、精度はppm級（百万分の1）に達することができる。

非破壊性検査：サンプルを破壊する必要はなく、文化財、めっき層、薄膜などの特殊サンプルの分析に適用する。

XRFはその高速、非破壊性、多元素分析能力のため、以下の分野に広く応用されている：

1.材料科学と工業

金属成分分析：鉄鋼、アルミニウム合金、電子部品中の合金元素検査。

めっき層と薄膜検査：PCB板めっき層などのコーティング厚さと成分（プラスチック表面金属めっき層など）を測定する。

半導体材料：シリコンウエハ中の不純物元素を分析する（チップの純度を確保する。

2.地質と鉱物の探査

鉱石成分分析：鉱石中の金属元素含有量を迅速に測定し、採鉱と選鉱を指導する。

岩鉱鑑定：元素組成を通じて岩石タイプ（例えば花崗岩、玄武岩）を区別し、地質構造研究を補助する。

3.環境と生態モニタリング

土壌と水質汚染検査：重金属含有量を分析し、環境汚染の程度を評価する。

固体廃棄物と危険物の分析：工業廃棄物中の有害元素を鑑別し、ゴミの分類と処理をサポートする。