X線フレネル波帯板（FZP）

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

X線フレネル波帯板（FZP）

製品詳細

NTTのFZPドライエッチングTa構成。優れた忍耐力を持つX放射線放射性、高分解能、高コントラスト、吸収体パターンが明瞭で、S/N比が高く、結像欠陥が少ない,理想的に応用できるX放射線顕微鏡、X放射線マイクロビーム放射とX放射線イメージング。
また、ソフト用にも提供するX放射線と極紫外線（EUV、XUV）領域のTa図案／SiNまくがたFZPとAuプレートパターン／SiNまくがたFZP。階段式（キノホログラム）を提供するFZP

モデル	アスペクト比	フィルム材料	まくあつさ（μm）	ΔRn （nm）	D （μm）	N	Tm （nm）
FZP-S38/84	4.2	SiN	0.15	38	84	550	160
FZP-S50/80	5	SiN	0.2	50	80	400	250
FZP-S40/155	5	SiN	2	40	155	970	200
FZP-S50/330	8	SiN	1	50	330	1,650	400
FZP-S86/416	8	SiN	2	86	416	1,200	700
FZP-100/155	8	SiN	2	100	155	388	800
FZP-173/208	5.8	SiN	2	173	208	300	1,000
FZP-200/206	8	SiN	2	200	206	255	1,600
FZP-C234/2500	0.6	SiC	0.2	234	2,500	2,670	150

NTT-ATのEUV-FZPはEUV波長に最適化されている。

薄膜上のTa吸収剤パターンは100 nm／a未満を実現した

少数の100ナノフォーカスやイメージングなど

-EUV顕微鏡

-EUVナノビーム生成

-超微細EUV検査

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