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上海納騰計器有限公司
概要
ウェハ曲げ応力測定器
製品詳細
Stress Mapper ウェハ曲げ応力測定器
三次元反り（平坦度）及び薄膜応力の検出機能を備え、半導体ウエハ生産、半導体プロセス技術開発、ガラス及びセラミックスウエハ生産に適している
