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ウェハヒータディスク

ネゴシエーション可能更新10/11
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生産者
製品カテゴリー
原産地

概要

異なるサイズのウエハ試験を適用し、各種プローブ台に使用でき、温度制御と同時に電気的試験を行うことができる。

製品詳細

温度範囲-120℃~400℃温度安定性±0.05℃温度均一性±2%サンプル領域2寸~12寸メサ平坦度25 umメサ電位電気接地三同軸背電極オプション適合機器手動プローブ台半自動プローブ台レーザーアニーリング適用領域半導体チップOLED光学温度変化ウエハ試験