ウェハ結晶粒外観検出機

製品特徴：

»設備は振動盤フィード、静電処理システム、ガラス回転プラットフォーム、センサ変位センシング、上下二重CCD外観検出、高周波ブローダウンなどの機能を含む、
»誤審率は低く、P面誤審率≦0.3%、N面誤審率≦0.7%、総合誤審率≦1%
（産出率＝1−不良率−誤審率）、
»視覚検出効率が速い、UPH≥100K/H；
»露光光源は青色光を採用し、人の目にダメージを与えない。
»高速CCD処理システム、
»高精度DDモータ回転プラットフォーム、
»全中国語操作インタフェース、操作直感、簡易、インタフェース良好、
»プロセスパラメータは呼び出しを保存でき、操作が簡単です。
»ソフトウェア圧力記憶機能、例えば後続の甲がアップグレードする必要があるソフトウェアとMESなどの管理ニーズには、乙がアップグレードまたはオープンポートに協力する必要があり、乙は無償で協力する。