ウェハ乾燥器

交渉可能更新02/10

オンラインコンサルト

概要

ウェハ乾燥装置はウェハラインのために開発された$r$n超臨界技術を8寸及び12寸ウェハライン$r$n高効率自動化上下材料に導入し、ウェハ生産の超清浄環境に適合する

製品詳細

ウェハ乾燥器ウェハライン専用に開発

超臨界技術を8インチ及び12インチウエハラインに導入

高効率自動化上下材料、ウエハ生産に適した超清浄環境

高い信頼性

ウェハ乾燥器堅牢で耐久性のある構造設計と安定した運用性能を採用し、長期使用における一貫性と信頼性を確保し、メンテナンス頻度を削減

*生産ライン設備標準で開発

ウェハ乾燥工程のために設計された上下材料機構は、*生産ライン上の設備の自動化ニーズを満たす

晶圆干燥仪

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