Verifire ATZレーザ干渉計

Verifire™ ATZレーザー干渉計

Ring of Fire™点光源はVerifire™ ATレーザ干渉計がクリーンな画像を取得するための基礎であり、従来のレーザ干渉計はコヒーレント点光源を用いており、試験室にコヒーレント光を形成している。しかし、点光源は光路中で微粒子に遭遇すると同時に寄生する干渉縞（グロメット）を発生する。ユニークRing of Fire™光源システムは光学キャビティに干渉するだけで、干渉キャビティ外の微粒子から発生する干渉縞を抑制し、干渉計全体の性能を強化し、測定された性能を強化し、測定された結果はより信頼できる。

高精度の光学素子と光学系には高性能の測定技術と方法が必要であり、高速操作が簡単で長期的に安定した検出装置と方法を備える必要があるだけでなく、より高精度な製品検出の需要も必要である。ZYGO Verifire™レーザー干渉計はRing of Fire™光源技術により、長期的な悩みを解消“ホーンリング”測定上の影響を与え、測定精度を新たなステップに高めるとともに、ZYGO自主開発されたMetroproソフトウェア、および伝統的なレーザ干渉計と相互作用する各種アクセサリ、Verifire™レーザー干渉計は高速、簡易、安定に基づいて新たな高さに達する。いわば、ZYGO Verifire™レーザー干渉計は次世代のレーザー干渉計だけでなく、新しい干渉測定技術のge命でもある。