温度制御範囲

室温~250℃

真空チャンバ寸法

500*800*800mm（幅*深さ*高さ）

全体外形寸法

約680*900*1700mm

限界真空度

0.1KPa

温度分解能

0.1℃

おんどへんどうど

±0.5℃（一定の状態で）

電源/電圧

380 V/50時間z三相五線方式

窒素ガス流量

100 L/min手動調整とアンモニア自動切替

かねつほうしき

がいぶかねつ

温度検出システム

PT 100白金抵抗

真空度/おんどひょうじほうしき

カラータッチスクリーンのデジタル計器表示、温度を備える、ストレスリアルタイム記録、曲線データ群記録照会、警報故障記録保存と履歴レビュー照会

バキューム方式

じどうくうきぬき

タンク構造

独立した制御加熱チャンバ、真空システムは管路を介して加熱チャンバに接続され、

デバイスマテリアル

内胆質SUS 304ステンレス鋼、冷間圧延鋼板に溝付き鋼を溶接してなり、表面静電噴霧成形

ゲートシール材

箱ドアの閉締力を調節でき、全体を成形して日本から輸入することができるふっ素ボックス内の高真空度を確保するためのドアシールリング

ほおんざい

耐高温防火ケイ酸アルミニウム

あんぜんそうち

超温警報による加熱電源の遮断、漏電保護、遮断ワイヤ警報、欠相保護、接地などの保護

そうにゅうしゅつりょく

7.9 kW

かくへき