真空容量圧力計

1.説明

PT124B-212K型真空容量圧力計高安定容量感受性素子を使用し、優れた耐過圧能力と優れた長期安定性を備え、光起電力、半導体及び工業市場においてプロセス制御に重要な精密真空測定に適している。先進的な製造技術と技術は、応用シーンにおける再現性を保障し、本圧力計の動作電圧は24 V DCで、標準的な（0 ~ 10）V DCアナログ出力信号を持ち、フルスケール測定で、使用可能範囲は1 Torr（133 Pa）から10 Torr（1.33 kPa）である。

2.アプリケーション

真空炉真空包装プラズマ滅菌器冷凍乾燥真空蒸留石化業界半導体業界PECVD/ALDプロセス設備プラズマエッチングプロセス設備。

3.主な特徴

業界標準コネクタ

高精度：標準±0.5%示度、オプション±0.25%示度

精密ダイヤフラムは優れた性能を保証する

動作温度補償範囲が広い

回路ノイズが低く、応答が速い

環境条件の変化に影響されにくい

優れた耐過圧設計。

4.製品外形

5.過負荷と爆破圧力定格

5.2配線定義

6.定格操作の説明

6.1標定準備

6.1.1 0.5 T、5 T、10 T対応調整窓保護ボタンを取り外す、

6.1.2小さなドライバーを1本用意する。

6.2定格操作

6.2.1外部気圧を0.5 Tに調整し、1 min気圧が安定するのを待ってから、1字小さいドライバーでまず時計回りに半回転0.5 Tポテンショメータを回転してから半回転0.5 Tポテンショメータに戻る、

6.2.2外部気圧を5 Tに調整し、1 min気圧が安定するのを待ってから、1字の小さなドライバーで5 Tボタンを回してください。

6.2.3外部気圧を10 Tに調整し、1 min気圧が安定するのを待ってから、1字小さいドライバーでまず時計回りに半回転10 Tポテンショメータを回転してから半回転10 Tポテンショメータに戻る、

6.2.4上記3ステップ動作を完了したら、マーキング完了。

6.3標定操作上の注意事項

6.3.1標定過程において、0.5 T及び10 Tポテンショメータを回転させたり、5 Tボタンを押したりするには、1 min外部気圧が完全に安定してから待たなければならない。10 T標定が完了したら、トランスミッタは記録データを自動的に保存する。

6.3.2 0.5 Tまたは5 T圧力点を再定格する必要がある場合、10 T圧力も再定格する必要がある（10 Tポテンショメータは同時に保存の役割を果たす）。

7.注意事項及び設置要求

7.1注意事項

7.1.1選択した電源装置と真空容量圧力計の入力電源が一致している、

7.1.2遮蔽ケーブルの遮蔽層は電源のコモン電源に接続しなければならない。

7.1.3本シリーズの真空容量圧力計の配線は配線模式図によって接続し、間違いがないことを確認して電気を通すことができる！

7.1.4通電時にプラグの挿抜を禁止する、

7.1.5製品を使い切ったら、プラグの電源を抜くこと。

7.2インストール要件

7.2.1真空容量圧力計は垂直に取り付けなければならない。

7.2.2真空容量圧力計の着脱過程において注意して軽くし、衝突を注意し、計器誤差を起こさないようにしなければ、再較正しなければ使用できない、

7.2.3真空容量圧力計は振動のある位置に取り付けられてはならない。振動位置に取り付けなければならない場合は、真空ホースで接続して免震作用を果たしてください。

8.保守とトラブルシューティング

8.1日常メンテナンス

機器が汚れている場合は、ガソリン、塗料シンナーなどを使わずに柔らかい布で拭き取ってください。

8.2一般的なトラブルシューティング

9.梱包リスト

真空圧力計1台DP 9シリアルライン1本取扱説明書1部合格証1部